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采用新開發(fā)的雙模式分析器，從數(shù)秒至數(shù)十秒的時間內(nèi)得到數(shù)mm以下的高分辨元素圖、化學(xué)狀態(tài)圖，是真正的成圖XPS。
并且，若在圖像上以鼠標(biāo)點(diǎn)擊分析位置，則無需移動樣品，便可進(jìn)行zui小至15mm微小區(qū)域的多點(diǎn)能譜分析。
→圖像分辨率（邊緣分辨率） 2mm左右
→XPS靈敏度 宏 11,800kcps / 110mmf 735kcps
27mmf 28kcps / （Ag3d5/2、450W、1.3eV）
→zui小分析直徑（能譜分析） 15mmf


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