設(shè)備特點

? 世界上實現(xiàn)定量測量的陰極熒光分析系統(tǒng)SEM-CL

? 300μm直徑的視場

? 優(yōu)于10nm的空間分辨率

? 10ps的時間分辨率

? Schottky場發(fā)射槍（連續(xù)系統(tǒng)）和皮秒脈沖光電槍（時間分辨模式）

? 樣品溫度范圍：20K-300K，位移精度1nm

工作模式

? 光學(xué)顯微鏡成像
? 陰極熒光測繪（多色，單色和高光譜）
? 二次電子測繪
? 時間分辨陰極熒光（時間分辨選項）
? 二次電子和陰極熒光同步測繪

高性能光學(xué)與SEM系統(tǒng)：

簡單易用，大視野，高分辨

Attolight SEM-CL系統(tǒng)自帶有集成了光鏡的掃描電子顯微鏡（10nm空間分辨率）。光鏡被嵌入在掃描電鏡的電子物鏡，使兩者的視場相互匹配。獲取陰極熒光圖從未如此簡單：無需調(diào)準光路，光鏡的存在幫助完成了樣品定位。系統(tǒng)經(jīng)過優(yōu)化，在不犧牲掃描電鏡性能的同時獲得了*的陰極熒光性能。它提供了一個的光學(xué)光圈 (f/0.5)，和在整個視場范圍內(nèi)恒定的高光子收集效率。同時，它工作在低電子束的能量范圍內(nèi) (3-10kV)，可獲得更高分辨的陰極熒光圖。

Schottky場發(fā)射電子槍和皮秒脈沖光電子槍：

連續(xù)工作模式和時間分辨工作模式

電子槍類型是決定電鏡性能的重要參數(shù)。attolight SEM-CL采用特殊設(shè)計的肖特基（Schottky）場發(fā)射電子槍，提供高亮度高相干的電子束，在樣品上產(chǎn)生的熒光空間分辨率好于10nm。

Attolight SEM-CL系統(tǒng)還是個具有時間分辨選項的陰極熒光分析系統(tǒng)，可實現(xiàn)*的10ps的時間分辨率。時間分辨的陰極熒光分析系統(tǒng)將是研究光電材料載流子動力學(xué)和壽命的完美工具。

定量測量陰極熒光發(fā)光

Attolight SEM-CL系統(tǒng)是世界上能實現(xiàn)定量測量不同樣品的陰極熒光發(fā)光的系統(tǒng)。受益于*的設(shè)計，它能夠甄別并發(fā)現(xiàn)超痕量雜質(zhì)，以及某些在其他成像模式下不可見的晶體缺陷的能力，為研究及開發(fā)半導(dǎo)體材料、熒光粉、陶瓷、巖石和玻璃提供了新的可能。