P-545．3C7 緊湊型XY壓電掃描臺

應(yīng)用于顯微領(lǐng)域，超大通孔設(shè)計，高性價比，達三維掃描，精密版本

特性：

的穩(wěn)定性和可重復(fù)性

掃描行程：200*200*200um

亞納米分辨率

毫秒響應(yīng)時間

緊湊設(shè)計，便于集成

隱藏式滑座，自由轉(zhuǎn)動，調(diào)節(jié)更為靈活

多種位置傳感器可選

柔性鉸鏈系統(tǒng)，無回程差

采用PICMA壓電觸動，高可靠性

參數(shù)：

運動軸：X/Y/Z軸	線性度：0.1%
尺寸：217*150*20mm	機構(gòu)設(shè)計：串聯(lián)機構(gòu)
中孔：82*65mm	無負載下字真頻率：1000（X,Y）,800(Z)Hz
傳感器：電阻傳感器，電容傳感器；	負載：5N
閉環(huán)行程：70-200um	閉環(huán)分辨率：<1nmm

應(yīng)用：

超分辨顯微技術(shù)

拍攝

共聚焦顯微系統(tǒng)

生物技術(shù)