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108auto 全自動(dòng)鍍金鍍碳聯(lián)用儀

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  • 特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜,同時(shí)又用于掃描電鏡能譜分析。

    主要特性

    l 通過1個(gè)真空泵相連,在既可以保證良好鍍金鍍碳效果的同時(shí),又不會(huì)產(chǎn)生碳和金屬的任何交叉污染。

    l 通過高效低壓直流磁控頭進(jìn)行冷態(tài)精細(xì)的噴鍍過程,避免樣品表面受損。

    l 數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響,可得到一致的鍍膜速率和的鍍膜效果。

    可使用多種金屬靶材:Pt Au/Pd,Au,Pt/PdPt靶為標(biāo)配),靶材更換快速方便。

    l 通過使用MTM-20高分辨膜厚控制儀(選件)在達(dá)到設(shè)定膜厚時(shí)停止噴鍍過程。

    l *的受反饋控制的碳棒蒸發(fā)系統(tǒng)可以在膜厚20nm左右進(jìn)行多次蒸發(fā),無須切削或調(diào)整碳棒形狀。

    l 使用的高純碳棒可以在高倍條件下得到高質(zhì)量的鍍膜效果。

    l 使用新型的蒸發(fā)裝置:電流和電壓通過磁控頭的傳感線監(jiān)控,蒸發(fā)源作為反饋回路中的一部分被控制。該蒸發(fā)裝置使常規(guī)的碳棒具有優(yōu)良的穩(wěn)定性和重現(xiàn)性。功率消耗低,碳棒具有優(yōu)異的重新蒸鍍特性。蒸發(fā)源可以通過脈沖或連續(xù)的方式操作。

    l 自動(dòng)模式下,蒸發(fā)源按程序設(shè)定的電壓和時(shí)間進(jìn)行噴鍍。手動(dòng)模式下,*的設(shè)計(jì)允許以脈沖或連續(xù)的方式操作,并通過旋鈕控制輸出電壓。

     

    技術(shù)參數(shù)

     

    鍍金系統(tǒng)

    樣品室大小

    直徑120mm x 120mm

    靶材

    Au靶為標(biāo)配, Au:Pd, Pt, Pt:Pd (選件);大?。褐睆?span style="font-family:Verdana , sans-serif;">57mm x 0.1mm

    樣品臺(tái)

    可以裝載12個(gè)SEM樣品座,高度可調(diào)范圍為60mm

    可選配旋轉(zhuǎn)傾斜樣品臺(tái),旋轉(zhuǎn)速度:0~120rpm可調(diào),傾斜角度:0~90°可調(diào)。旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)具有單獨(dú)腔體保護(hù),可防污染。

    濺射控制

    微處理器控制,安全互鎖,可調(diào),大電流40mA,程序化數(shù)字控制

    濺射頭

    低電壓平面磁控管,靶材更換快速,環(huán)繞暗區(qū)護(hù)罩

    模擬計(jì)量

    真空: Atm - 0.001mbar

    電流:050mA

    厚度監(jiān)控
      (選件)

    使用MTM-20高分辨厚度控制儀(選件)自動(dòng)終止濺射過程,或使用MTM-10高分辨厚度監(jiān)控儀(選件)手動(dòng)終止濺射過程

    控制方法

    自動(dòng)氣體換氣和泄氣功能,自動(dòng)處理排序,帶有“暫?!笨刂频臄?shù)字定時(shí)器(0300s),自動(dòng)放氣

    桌上系統(tǒng)

    真空泵可置于抗震臺(tái)上,全金屬集成耦合系統(tǒng)

    鍍碳系統(tǒng)

    樣品室大小

    直徑120 x 120mm  

    蒸發(fā)源

    Bradley (6.15mm rods,   [1/4"])
     
    高強(qiáng)度不銹鋼結(jié)構(gòu)

    蒸發(fā)控制

    基于微處理器的反饋回路控制,能夠進(jìn)行遠(yuǎn)程電流/電壓感應(yīng),基于真空水平變量的安全互鎖功能,大電流180A,提供過流保護(hù)

    樣品臺(tái)

    可裝置12個(gè)樣品座,高度在30mm范圍內(nèi)可調(diào)

    模擬計(jì)量

    真空: atmos - 0.001mb; 電流: 0-200A

    控制方法

    自動(dòng)蒸發(fā)控制,使用程序設(shè)定的電壓和時(shí)間

    以脈沖或連續(xù)方式進(jìn)行*手動(dòng)控制

    數(shù)字定時(shí)器(09.9s

    數(shù)字電壓設(shè)置(0.1 to 6.0V

    真空系統(tǒng)

    真空泵

    2級(jí)直連式高速真空泵

    抽氣速率

    100L/MIN

    噪音

    50dB

    極限真空

    ≤1   x 10-3 Torr


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