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德國海德堡激光直寫系統(tǒng)

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公司名稱 北京德華振峽科技有限公司
品牌
型號
所在地
廠商性質(zhì) 代理商
更新時間 2020/11/24 14:34:44
訪問次數(shù) 25

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促銷詳細(xì)：

2020年01月08日至 2020年02月08日

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模內(nèi)澆口分離自動化，降低對人的依賴度；傳統(tǒng)的塑膠模具開模后產(chǎn)品與澆口相連，需二道工序進行人工剪切分離，模內(nèi)熱切模具將澆口分離提前至開模前，消除后續(xù)工序，有利于生產(chǎn)自動化，降低對人的依賴。

海德堡公司（HeidelbergInstruments簡稱HIMT）坐落于德國海德堡市，HIMT成立于1984年，主要生產(chǎn)大小型高精密德國海德堡激光直寫系統(tǒng)不僅可光繪掩膜板上（photomask），也可以直接光繪在各種基片上（芯片、石英玻璃、陶瓷基板等）。同時設(shè)備本身具有高精密測量功能。目前已超過200多臺設(shè)備在*安裝使用，設(shè)備*大加工面積達(dá)70"X90"詢問及索取技術(shù)資料！

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德國海德堡激光直寫系統(tǒng)－DWL66激光直寫光繪系統(tǒng)，是海德堡公司考慮到客戶低成本投入，及增加與客戶互動關(guān)系理念下所設(shè)計的機臺，雖價格不高，但他仍然維持了高精密的光繪品質(zhì)，在微影技術(shù)與光學(xué)領(lǐng)域的研究發(fā)展上都獲得了客戶相當(dāng)?shù)臐M意口碑。同時重接單到持續(xù)增加中，更證明了DWL66系統(tǒng)的設(shè)計開發(fā)理念，用*小的花費提升*高的附加價值。

技術(shù)參數(shù)：

加工零件尺寸：150X150mm

繪圖頭焦距 Write Lens	2mm	4 mm	10 mm	20 mm	40 mm
*小線寬或間距 Minimum Feature	0.6um	1µm	2.5 µm	5 µm	10 µm
書寫格網(wǎng) Write Grid	20nm	40 nm	100 nm	200 nm	400 nm
CD均勻度 CD Uniformity	80nm	100 nm	220 nm	440 nm	880 nm
線寬均勻度 Line width Uniformity	100 nm	200 nm	400 nm	600 nm	1000 nm
線邊粗糙度 Edge Roughness	60 nm	80 nm	120 nm	180 nm	280 nm
對準(zhǔn)精度 Alignment Accuracy	200 nm	250 nm	500 nm	1 µm	2 µm
定位精度 Position Accuracy	0.4 um	0.6 µm	1 µm	1.5 µm	2 µm
讀寫時間 Writing time ( 80x80 mm)	70 hour	19 hour	3 hour	0.9 hour	0.3 hour

Applications 應(yīng)用范圍
該激光圖形發(fā)生系統(tǒng)用于涂有光刻膠的各種基片，玻璃，硅片，或其他平面材料。
RETICLE（分劃板），ASICS（晶片），MEMS（微機電系統(tǒng)），SENSOR（傳感器），
REFRACTIVE OR DIFFRACTIVE OPTICS(折射及衍射光學(xué)), MOEMS(微光機電),
MCMS, HYBRIDS, INTEGRETED OPTICS（集成光學(xué)）, µTAS，SAW ect.