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YAMATO等離子清洗機(jī)PDC210

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱(chēng) 上海爾迪儀器科技有限公司
品牌
型號(hào)
所在地
廠商性質(zhì) 代理商
更新時(shí)間 2021/2/4 12:58:53
訪問(wèn)次數(shù) 35

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促銷(xiāo)詳細(xì)：

2020年01月08日至 2020年02月08日

特價(jià)促銷(xiāo)

模內(nèi)澆口分離自動(dòng)化，降低對(duì)人的依賴(lài)度；傳統(tǒng)的塑膠模具開(kāi)模后產(chǎn)品與澆口相連，需二道工序進(jìn)行人工剪切分離，模內(nèi)熱切模具將澆口分離提前至開(kāi)模前，消除后續(xù)工序，有利于生產(chǎn)自動(dòng)化，降低對(duì)人的依賴(lài)。

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

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詳細(xì)信息

儀器簡(jiǎn)介：

研究開(kāi)發(fā)用等離子清洗機(jī)

用途：

CSB/BGA/COB基板的等離子處理
有機(jī)膜和金屬氧化膜的除去
印刷電路基板的干洗
界面活性處理

技術(shù)參數(shù)：

型號(hào)	PDC200	PDC210	PDC510
模式	RIE模式（DP選配）	DP模式	DP/RIE切換方式
電極構(gòu)造	平行平板電極（固定）
高頻輸出功率	MAX300W	Max 500W
頻率	13.56MHz
控制方式	自動(dòng)聯(lián)動(dòng)，液晶觸摸屏控制
反應(yīng)室尺寸	400×250×150mm		500×300×200
電極尺寸	250×170mm		400×200mm
反應(yīng)室材質(zhì)	一次性一體成型鋁腔（防腐蝕，可對(duì)應(yīng)CF₄）
反應(yīng)氣體	2系統(tǒng)（Ar/O₂）
填充氣體	N2/潔凈干燥空氣
反應(yīng)氣體流量控制	流量計(jì)	聚合控制器
真空泵	另行選配	油回旋真空泵（排氣量345L/min）	油回旋真空泵（排氣量500L/min）
氣體導(dǎo)入口	反應(yīng)氣體2套，填充氣體1套
外型尺寸	540×600×600mm	540×600×600mm	700×700×700mm
電源	單相AC100V 15A 50/60Hz	三相AC100V 15A 50/60Hz