中文名稱:三氟化氮 英文名稱:Nitrogen trifluoride 中文別名:氟化氮;英文別名:232-007-1; trifluoroamine CAS號:7783-54-2 分子式:F3N 分子量:71.0019
物性數(shù)據(jù)
性狀：無色、帶霉味的氣體。
2.熔點（oC）：-208.5
3.沸點（oC）：-129
4.相對密度（水=1）：1.89（沸點，液體）
5.相對蒸氣密度（空氣=1）：2.45
6.臨界溫度（oC）：-39.3
7.臨界壓力（MPa）：4.53
8.溶解性：不溶于水。
存儲方法
1.在70℃以下NF3氣體對普通金屬是不腐蝕的，因此鋼、銅、鎳、鋁和不銹鋼在70℃以下均可用作包裝材料。用鋼瓶和鋁合金瓶充裝，對氣瓶每兩年要檢驗一次。按有毒高壓液化氣體規(guī)定運輸，國外規(guī)定可以用汽車、火車運輸，不能用飛機運輸。氣瓶充裝系數(shù)不大于0.01。
2.儲存注意事項[16] 儲存于陰涼、通風的有毒氣體專用庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應(yīng)與易（可）燃物、還原劑、食用化學(xué)品分開存放，切忌混儲。儲區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。
合成方法
在熔融氟銨酸存在下，采用氨直接氟化工藝，其反應(yīng)式為：
反應(yīng)產(chǎn)物經(jīng)過除霧器、淋洗器、分子篩吸附器，以及真空蒸餾，可分別除去各種雜質(zhì)，最后用低溫法收集得到NF3。
主要用途
NF3是微電子工業(yè)中一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體，對硅和氮化硅的蝕刻，采用NF3和CF4＋O2的混合氣體有更高的蝕刻速率和選擇性，而且對表面無污染。氫與NF3反應(yīng)，在瞬間伴隨放出大量的熱，這就是NF3在高能化學(xué)激光器方面大量應(yīng)用的原理。在高溫下，NF3與有機化合物反應(yīng)常伴有爆炸性，操作時應(yīng)十分謹慎。2.用作高能燃料。
一、智能型高精度三氟化氮氣體傳感器模組產(chǎn)品簡介
深國安電子自主研發(fā)生產(chǎn)的一款標準化、模塊化、智能化氣體檢測產(chǎn)品；主要為解決氣體檢測種類繁多、各品牌氣體傳感器互不兼容、生產(chǎn)標定復(fù)雜、核心元器件更換受限等問題；采用我司生產(chǎn)的SGA-400/700系列智能型氣體傳感器后，只需前期對接一次，即可快速響應(yīng)客戶對不同氣體的檢測需求；擴散式和泵吸式兩個采樣方式可選，方便系統(tǒng)集成；模擬電壓和數(shù)字信號雙輸出，客戶直接供電即可采集數(shù)據(jù)。即買即用，無需二次開發(fā)或標氣調(diào)校?？纱蠓冉档推髽I(yè)的研發(fā)和時間成本，并快速將檢測精度和穩(wěn)定性提升到水準。
SGA-400/700系列智能型高精度三氟化氮氣體傳感器模組100%采用國外芯片，確保產(chǎn)品的精度和穩(wěn)定性；具體生產(chǎn)工藝為：先將國外的氣體傳感器進行信號放大、數(shù)據(jù)處理、智能計算后，再進行全量程三點溫濕度補償。然后再用高精確度的標準氣體進行數(shù)據(jù)校準。因此，體積更小、價格更低、性能更加優(yōu)良穩(wěn)定；客戶購買后，無需任何操作，無需再次標定，可直接采集處理后的標準信號RS485、0-5V之間任意電壓和TTL數(shù)字信號，上傳到PLC、DCS、DDC、數(shù)據(jù)采集儀等上位機系統(tǒng)；方便快捷、節(jié)約成本；產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于科研實驗室、數(shù)據(jù)采集、氣體監(jiān)測、過程化控制、物聯(lián)網(wǎng)、無人機、工業(yè)機器人、網(wǎng)格化大氣環(huán)境監(jiān)測儀、微型空氣質(zhì)量監(jiān)測站、惡臭在線監(jiān)測、有毒氣體檢測等領(lǐng)域。
SGA-400系列目前是市面上最小的智能型氣體傳感器，體積小，重量小，非常適合無人機、工業(yè)機器人等空間受限的客戶使用。SGA-700系列內(nèi)置四電*精度氣體傳感器，非常適合空氣質(zhì)量、園區(qū)廠界、網(wǎng)格化環(huán)境監(jiān)測等場所使用。
二、產(chǎn)品特點
● 體積小、重量輕、功能強大；
● 已標定，無需二次開發(fā)，即買即用；
● 產(chǎn)品一次對接，即可對應(yīng)1000多種氣體檢測，一勞永逸；
● 產(chǎn)品標準化、模塊化，任何氣體都可以做成尺寸結(jié)構(gòu)統(tǒng)一、信號輸出統(tǒng)一、使用方法統(tǒng)一；
● 本質(zhì)安全型電路設(shè)計，帶國家防爆證；
● 兼容紅外、電化學(xué)、催化、半導(dǎo)體、PID等不同技術(shù)原理傳感器，功能強大；
● 自帶溫濕度補償和數(shù)據(jù)校準功能，方便客戶對接，維護方便；
● 內(nèi)置世界頂級品牌氣體傳感器，反應(yīng)靈敏，測量精準，壽命長久；
● 多種信號輸出，方便客戶使用；
● 定制鍍金插座，拔插容易，固定牢靠；
● 氣體流體工程學(xué)設(shè)計，進氣流暢；
● 自然擴散式和主動吸入式兩種采樣方式可選；
● 免費提供測試軟件和通訊協(xié)議，方便產(chǎn)品調(diào)試和系統(tǒng)對接；
● 免費開放內(nèi)部數(shù)據(jù)和指令，方便客戶做二次修正或參數(shù)更改；
● 可選配多組信號轉(zhuǎn)換板，將多個模組信號統(tǒng)一輸出為RS485、RS232和USB數(shù)據(jù)接口；
● 0.4-2V輸出的產(chǎn)品，可以協(xié)助客戶做產(chǎn)品故障診斷；
●每十家環(huán)境監(jiān)測客戶中，就有5家在選購深國安的產(chǎn)品；
