Pico 等離子設(shè)備能夠以不同的形式進(jìn)行整合，例如以模塊系統(tǒng)的形式。在下文中您可以大致了解能夠與 Pico 等離子系統(tǒng)一同使用的見的選裝件。Pico 等離子系統(tǒng)主要應(yīng)用于以下領(lǐng)域：
分析 (REM, TEM)
考古
汽車行業(yè)
研究和開發(fā)部門
半導(dǎo)體技術(shù)
小批量生產(chǎn)
塑料技術(shù)
醫(yī)療技術(shù)
微系統(tǒng)技術(shù)
傳感器
滅菌
紡織技術(shù)
系列 | Pico系列 |
控制系統(tǒng) | 半自動型 PCCE 控制系統(tǒng) (MicrosoftWindows CE) PC 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows POS Ready 2009) |
體積 | 4~15L |
真空腔室 | 圓形不銹鋼件，配有蓋子
（大約Φ 150 mm, 長 320 mm 或者長 600 mm）或者 矩形不銹鋼件，配有鉸鏈的門
（約寬 160 mm x 高 160 mm x 深 325 mm 或者 600 mm） 配有蓋子的圓形鋁材，或者配有鉸鏈的門
（大約Φ 130 mm, 長 300 mm 或者長 600 mm） 配有蓋子的圓形石英玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門
（大約Φ 130 mm, 長 300 mm 或者長 600 mm） 配有蓋子的圓形硼硅玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門
（大約Φ 130 mm, 長 300 mm 或者長 600 mm） |
電極 | 單層或多層 RIE |
樣品支架 | （選項：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末轉(zhuǎn)鼓、散裝件轉(zhuǎn)鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃 |
氣源 | 針型閥 質(zhì)量流量控制器 (MFCs) |
壓力計 | Pirani Baratron（適用于腐蝕性氣體版本） |
計時器 | 數(shù)字型 |
高頻電流發(fā)生器 | 40 kHz: 功率 0 - 200 W；0 -1000 W 13.56 MHz: 功率 0 - 50 W；0 - 100 W；0 - 300 W 2.45 GHz: 功率 0 - 300 W 所有發(fā)生器均為 0 - 99% 無級可調(diào)型 |
真空泵 | KASHIYAMA |
電源 | 臺式設(shè)備為 230 V，立式設(shè)備為 400 V/3 相位 |
備件套件、壓力計、腐蝕性氣體設(shè)計結(jié)構(gòu)、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、Faraday Box、等離子體聚合配件、測試墨水、 氧氣發(fā)生器、慢速通風(fēng)裝置、慢速抽吸裝置、TEM樣品架法蘭、維護(hù)/服務(wù)、當(dāng)?shù)卣Z言的文件、現(xiàn)場安裝，包括培訓(xùn)。可應(yīng)要求提供的其他選項。
