2軸激光掃描振鏡
Novanta公司旗下的英國Cambridge Technology的提供高精度激光振鏡掃描頭，其2D系列振鏡包含三個系列：
-MOVIA緊湊型振鏡掃描頭
-Versia 2D高級多用途振鏡掃描頭
- Lightning II 2D旗艦高精度高速振鏡掃描頭
1. MOVIA緊湊型振鏡掃描頭
MOVIA緊湊型振鏡掃描頭突出優(yōu)點是經(jīng)濟，穩(wěn)定和高效，其緊湊型的結構非常適合于諸如激光打標，激光微加工等多種應用
規(guī)格 | MOVIA-2D-10 mm |
鏡片通光孔徑 | 10mm |
掃描類型 | 矢量掃描 |
掃描角度 | ±20° |
光束位移 | 12.05 mm |
步進響應時間(全角度1%) | <210μs |
常規(guī)打標速度 | 3m/s （使用160mm F-Theta鏡頭） |
常規(guī)定位速度 | 16m/s |
重復精度 | <3.5 μrad |
跟隨誤差 | <130μs |
線性度 | >99.9%（在20°掃描范圍內） |
波長選項+最大功率 | CO?激光 :9.2-10.6μm最高125W；光纖激光：1040-1090nm最高125W |
綠光：532nm|請與廠家確認 紫外：353-357nm|請與廠家確認 |
增益誤差 | <5 mrad |
零點漂移 | <5 mrad |
長時間漂移 | <100 μrad |
長時間比例漂移 | <150 ppm （30分鐘預熱后，24小時運行，單軸） |
溫度偏差漂移 | <20 urad/*c |
溫度比例漂移 | <20 ppm/℃ |
指令比特率 | 16位 |
通信接口 | XY2-100 |
IP等級 | IP50 |
電源需求 | ±15V,3A RMS |
工作溫度 | 15°℃-35*℃ |
重量(近似值) | 1.5kg |
尺 寸 ( L x W x H） | 114mmx94mmx86mm |
2. Versia 2D高級多用途振鏡掃描頭
Versia高級多用途振掃描頭采用了雙向通信協(xié)議，可適配模擬控制卡或數(shù)字式控制卡，可適配更大孔徑，更高激光功率，可對應用單獨優(yōu)化。
規(guī)格 | Versia-2D-14 mm |
鏡片通光孔徑 | 14mm |
掃描類型 | 矢量掃描 |
掃描角度 | ±21° |
重復精度 | <2 μrad |
長時間漂移 | <25 μrad |
長時間比例漂移 | <40 ppm （30分鐘預熱后，24小時運行，單軸） |
溫度偏差漂移 | <10 urad//℃ |
溫度比例漂移 | <10 ppm/℃ |
波長選項+最大功率 | CO?激光 :9.2-10.6μm最高200W；光纖激光：1040-1090nm最高200W |
綠光：532nm|請與廠家確認 紫外：353-357nm|請與廠家確認 |
指令比特率 | 16 bit(XY2-100); 20 bit (NVL-100) |
通信接口 | XY2-100； NVL-100 |
IP 等級 | IP54 |
電源需求 | 48V,5A RMS |
工作溫度 | 15°℃-40 ℃ |
重量(近似值) | 2.12kg |
尺 寸 ( L x W x H） | 99mmx99mmx132.20mm |
優(yōu)化舉例 | 激光微加工-OLED面板 |
步進響應時間(全角度1%) | 400μs |
最大速度 | > 80rad/s |
循跡誤差 | <230μs |
3. Lightning II 2D旗艦高精度高速振鏡掃描頭
Lightning II即“閃電2代”是我們的旗艦數(shù)字驅動激光掃描頭，同時具備快速，高精度和長時間穩(wěn)定工作的優(yōu)點。是鉆通孔，增材制造，微加工等應用的理想工具。
Lightning II參數(shù)指標：
型號:Lightning II 2D | 14 mm | 20 mm | 25 mm | 30 mm |
鏡片通光孔徑 | 14 mm | 20 mm | 25 mm | 30 mm |
掃描角度 | ±22° | ±20° | ±17° | ±20° |
步進響應時間 | 0.36 ms | 0.37 ms | 0.36 ms | 0.55 ms |
常規(guī)工作速度 | 50 rad/s | 50 rad/s | 50 rad/s | 50 rad/s |
波長選項 | 355nm/532nm/1030-1080nm/9.4-10.6μm;寬帶:350nm-12μm |
重復性 | <1 μrad |
抖動 | <1 μrad |
長時間漂移 | 10 μrad |
溫度漂移 | 2 μrad/℃ |
線性度 | 99.9% |
定位分辨率 | 24-bit |
數(shù)字通訊接口 | GSBus or XY2-100 |
狀態(tài)信號反饋 | Status Signals Position Acknowledge,System Ready |
指令分辨率 | 24-bit(GSB)or 16-bit(XY2-100) |
水冷溫度 | 20.0 ℃±2.5℃ |
冷卻水需求 | 蒸餾水，含緩蝕劑，如Optishield Plus或同等產品 |
電源需求 | +15V to +48V DC,3A RMS each,6A peak |
工作溫度 | 15°℃ to 35℃ |
增材制造 激光微加工
