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美國(guó)Sinton 少子壽命測(cè)試儀 BCT-400/BLS-I

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BLS-I/BCT-400少子壽命測(cè)試儀●非接觸方式量測(cè)真正意義上的硅塊少子壽命●渦電流法量測(cè)技術(shù)符合SEMI的PV13標(biāo)準(zhǔn)●相比業(yè)界其他少子壽命測(cè)試儀BLS-I/BCT系列是性能更*的少子壽命測(cè)試儀●Wafer廠品質(zhì)監(jiān)控必*量測(cè)設(shè)備,擁有廣泛的客戶群。

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BLS-I/BCT-400少子壽命測(cè)試儀


●非接觸方式量測(cè)真正意義上的硅塊少子壽命

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美國(guó)Sinton 少子壽命測(cè)試儀 BCT-400/BLS-I(圖1)



一、 產(chǎn)品概述

BLS-I/BCT-400型號(hào)少子壽命測(cè)試儀可以量測(cè)P型或者N型單晶或者多晶硅塊少子壽命,不需要表面鈍化處理就可以量測(cè)少子壽命。少子壽命的量測(cè)對(duì)于監(jiān)控硅塊在長(zhǎng)晶過(guò)程引入的缺陷或者污染物造成的缺陷有著重要的意義。通過(guò)使用少子壽命測(cè)試儀BCT-400可以直接判斷硅塊的質(zhì)量好壞。BLS-I可以量測(cè)表面不平的硅塊樣品。而不同于BLS-I,BCT-400只能量測(cè)表面平坦的硅塊。

二、 產(chǎn)品性能

主要應(yīng)用:

? 量測(cè)高純度硅少子壽命(范圍在1ms-5ms

? 量測(cè)摻硼的CZ 單晶硅少子壽命

? 量測(cè)多晶硅的少子壽命,陷阱濃度等

其他應(yīng)用

? 量測(cè)B-O缺陷,鐵雜質(zhì)濃度,以及表面的損傷

? 監(jiān)控CZFZ單晶,多晶硅等硅片質(zhì)量








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