PAC Alcor開發(fā)了超快速“橢圓偏振法航煤氧化加熱管操作簡單, 數(shù)據(jù)輸出、儲存方便掃描評定儀”(簡稱OptiReader)。該儀器通過全2D和3D厚度掃描技術(shù)測定加熱管上沉積厚度和體積, 得出快速、精確和準(zhǔn)確的“合格/不合格”評定結(jié)果。操作界面簡單、直觀，可入門，為用戶節(jié)約時間和成本。

無需培訓(xùn)

操作簡單、入門
10.8 英寸彩色觸摸屏，直觀又簡便
一鍵式操作
無須目測確認(rèn)

操作簡單, 數(shù)據(jù)輸出、儲存方便

高精準(zhǔn)度

優(yōu)于ASTM D3241方法
通過一套( 5 支)原子層沉積標(biāo)準(zhǔn)管 (ALD)驗證結(jié)果

重復(fù)性小于2nm, 再現(xiàn)性小于4nm

在評定中最小化人為錯誤

數(shù)值掃描

顯示 合格/不合格 評定結(jié)果

可測量加熱管沉積厚度和沉積體積

JFTOT & OptiReader 數(shù)據(jù)一致的報告

擁有智能加熱管的數(shù)據(jù)集成技術(shù)

評定

10分鐘內(nèi)完成全掃描
自動結(jié)果驗證