產(chǎn)品特點：
● 采用高精度花崗巖底座和立柱，確保機臺擁有的高穩(wěn)定性和精確度；
● 采用高精密無牙光桿和快速移動鎖緊裝置，確保工作臺回程誤差在2um以內(nèi)；
● 采用高精度儀器光學尺配合精密工作臺，確保機臺精度在≤2.5+L/200um以內(nèi)；
● 采用高清變焦鏡頭和高解析度彩色數(shù)字相機，確保畫質(zhì)清晰無畸變；
● 采用程控式表面4環(huán)8區(qū)LED冷光源和透射LED平行光源，以及內(nèi)置智能燈光調(diào)節(jié)模塊，可自由控制燈光在4環(huán)8區(qū)任何區(qū)域的亮度；
● 進口接觸式探針和功能強大的iMeasuring3.1三維影像測量軟件，提升品質(zhì)管控到新的臺階；
● 可選FexQMS測量數(shù)據(jù)分析及和實時監(jiān)控軟件，提升制程控制、降低物料耗損。