特征電阻率的非接觸式測(cè)量和成像高頻渦流傳感原理與集成紅外溫度傳感器可校正樣品的溫度變化信號(hào)靈敏度基于線圈頻率讀數(shù)（正在申請(qǐng)）的高信號(hào)靈敏度

特征

電阻率的非接觸式測(cè)量和成像
高頻渦流傳感原理與集成紅外溫度傳感器可校正樣品的溫度變化
信號(hào)靈敏度
基于線圈頻率讀數(shù)（正在申請(qǐng)）的高信號(hào)靈敏度，可實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確可靠的電阻率測(cè)量，并具有高再現(xiàn)性和可重復(fù)性
測(cè)量時(shí)間
測(cè)量時(shí)間 < 3 s，測(cè)量之間時(shí)間 < 1 s
測(cè)量速度
200 mm 晶圓/晶錠 < 30 s，9個(gè)點(diǎn)
多點(diǎn)測(cè)量及測(cè)繪顯示
9999個(gè)點(diǎn)
材料外形尺寸
平坦或略微彎曲的晶圓、晶錠、錠板、毛坯和薄膜
X-Y位置分辨率
≥ 0.1mm
邊緣扣除 
5 mm
可靠性
模塊化、緊湊的臺(tái)式儀器設(shè)計(jì)，可靠性高，正常運(yùn)行時(shí)間 > 99%
電阻率測(cè)量的重復(fù)性
≤ 0.15%，基于使用ANOVA Gage R&R方法對(duì)材料系統(tǒng)分析（MSA）

用戶友好且的操作軟件
+電阻率測(cè)量配方                                                  +分析功能包；統(tǒng)計(jì)、方差分析、溫度校正函數(shù)和庫(kù)
+導(dǎo)出/導(dǎo)入功能和原始數(shù)據(jù)訪問                           +遠(yuǎn)程訪問；基于互聯(lián)網(wǎng)的系統(tǒng)允許在世界任何地
+多級(jí)用戶賬戶管理方進(jìn)行遠(yuǎn)程操作和技術(shù)支持   +所有執(zhí)行的測(cè)量概覽
+繪圖選項(xiàng)（線、十字、星、完整地圖、地形、用戶定義圖案）

更多技術(shù)規(guī)格和配置選項(xiàng)