產(chǎn)品功能：

清洗： 工藝部件的表面通過(guò)離子束的物理轟擊而被清洗，也可與特定氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)從而被清洗，清洗掉的工藝污染物轉(zhuǎn)化為氣相被排出。如：去除有機(jī)污染物，去除納米級(jí)微粒，去除氧化層。

活化：工藝部件表面通過(guò)氧氣或空氣處理后，會(huì)在表面形成氧原子團(tuán)，這樣能使部件表面親水性和表面張力提高，能使涂料和粘接劑更好的附著于上，提高其的粘合力和附著力。
如：PDMS鍵合，粘接前的預(yù)處理，涂裝前的預(yù)處理，印刷前的預(yù)處理。

蝕刻：工藝部件表面通過(guò)特定氣體達(dá)到精確濺射，表面材料被剝離，轉(zhuǎn)變成氣相被排出，濺射后的材料表面積增大并更易濕潤(rùn)，也使材料表面更粗糙化。通過(guò)改變工藝參數(shù)可使材料表面蝕刻出一定的形狀。如：硅蝕刻，PTFE/PFA/FEP蝕刻，光刻膠去除。

涂層：使工藝部件表面發(fā)生等離子聚合反應(yīng)，前驅(qū)單體導(dǎo)入等離子真空腔室后使其電離并沉積至材料表面，隨即發(fā)生聚合反應(yīng)，形成聚合物層。如：疏水層，親水層，保護(hù)/阻隔層，干潤(rùn)滑層，疏油層。
 

具體應(yīng)用：

• 去除油脂、油、氧化物、纖維
• 去除硅氧樹(shù)脂
• 綁定、焊接、粘結(jié)前的預(yù)處理
• 金屬部件涂裝前的預(yù)處理
• 鍵合
• 石墨烯、煤樣灰化
 

選配：

控制系統(tǒng)： PCCE全自動(dòng)控制/PC全自動(dòng)控制。

 

氣體：

多路氣體
 

腔體：

可根據(jù)客戶要求定制大腔體
 

托盤：

石英玻璃舟皿/粉末轉(zhuǎn)鼓/散裝件轉(zhuǎn)鼓/鋁板/不銹鋼板/硼硅玻璃/石英/水冷型
 

電極：

單層或多層/帶氣體噴淋裝置的 RIE 電極
 

壓力測(cè)量：

Pirani/電容式壓力計(jì) （適用于腐蝕性氣體版本）
 

發(fā)生器：

80 kHz：0- 1000 / 3000 W 13.56 MHz： 0 - 300 W/600 W/ 1000 W 2.45 GHz： 0 - 1200 W
 

其他：

......