檢查大型樣品的自動(dòng)化過(guò)程-與潔凈室兼容。
檢查微型MEMS傳感器，XXL晶片和所有介于兩者之間的東西。
*大試件尺寸為300 × 300mm，*大試件厚度為254 mm，這是分析大型試件的無(wú)損方法。
立柱設(shè)計(jì)確保了穩(wěn)定性。
在您的潔凈室檢查晶圓:Axio Imager Vario是DIN EN ISO 14644-1認(rèn)證，并滿(mǎn)足潔凈室等級(jí)ISO 5的要求。
與電動(dòng)z軸驅(qū)動(dòng)和自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)，你可以帶來(lái)低對(duì)比度，反射標(biāo)本到*的焦點(diǎn)。
這每次都會(huì)產(chǎn)生*佳結(jié)果。
根據(jù)您的需求配置
顯微鏡
Axio成像儀。
A2 Vario(手動(dòng)，編碼)
Axio成像儀。
Z2 Vario(可電動(dòng)化)
Axio成像儀。
Z2 Vario(沒(méi)有炮塔焦點(diǎn))
照明方法
反射光:亮場(chǎng)、暗場(chǎng)、DIC、C-DIC、偏振、
熒光
透射光:亮場(chǎng)、暗場(chǎng)、DIC、PlasDIC、偏振、相位對(duì)比
照明
反射光:LED，鹵素，HBO, XBO
透射光:LED、鹵素
配件
自動(dòng)對(duì)焦，線(xiàn)性傳感器，手動(dòng)和電動(dòng)舞臺(tái)
簡(jiǎn)單。更聰明。更多的集成。

?利用*大試件尺寸為300 × 300mm和令人印象深刻的*大試件厚度為254 mm進(jìn)行無(wú)損分析。
?無(wú)論是處理沉重的樣品或與LSM 700激光掃描顯微鏡結(jié)合工作，堅(jiān)固的柱設(shè)計(jì)提供穩(wěn)定，您可以依賴(lài)和防止振動(dòng)。
?axio Imager Vario是DIN EN ISO 14644-1認(rèn)證，與一個(gè)潔凈室套件，滿(mǎn)足潔凈室等級(jí)ISO 5的要求。
?用于檢測(cè)反光，低對(duì)比度的樣本表面，配備Axio Imager Vario快速和*效的自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)。
然后，即使你*大的標(biāo)本將保持*的焦點(diǎn)沿X和y軸移動(dòng)。
為您的應(yīng)用程序創(chuàng)建
?由于廣泛的旅行范圍，您可以檢查太陽(yáng)能電池表面的均勻性和微裂紋。
?使用潔凈室套件和自動(dòng)對(duì)焦來(lái)識(shí)別晶圓上的顆粒、劃痕和缺陷。
?識(shí)別TFT顯示器在反射和透射光下的像素缺陷。
?用光罩支架檢查光罩是否有過(guò)量的鉻膜和顆粒。