FM-Nanoview Op-AFM

系統(tǒng)簡(jiǎn)介：

◆ 光學(xué)金相顯微鏡和原子力顯微鏡一體化設(shè)計(jì)，功能強(qiáng)大；

◆ 同時(shí)具備光學(xué)顯微鏡和原子力顯微鏡成像功能，兩者可同時(shí)工作，互不影響；

◆ 同時(shí)具備光學(xué)二維測(cè)量和原子力顯微鏡三維測(cè)量功能；

◆ 激光檢測(cè)頭和樣品掃描臺(tái)集成一體，結(jié)構(gòu)非常穩(wěn)定，抗干擾性強(qiáng)；
◆ 精密探針定位裝置，激光光斑對(duì)準(zhǔn)調(diào)節(jié)非常簡(jiǎn)便；
◆ 單軸驅(qū)動(dòng)樣品自動(dòng)垂直接近探針，使針尖垂直于樣品掃描；
◆ 馬達(dá)控制加壓電陶瓷自動(dòng)探測(cè)的智能進(jìn)針?lè)绞剑Ｗo(hù)探針及樣品；

◆ 超高倍光學(xué)定位系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)探針和樣品掃描區(qū)域精確定位；
◆ 集成掃描器非線性校正用戶編輯器，納米表征和測(cè)量精度優(yōu)于98%。

◆ 技術(shù)參數(shù) Technical Parameters