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FS-70 半導(dǎo)體檢測(cè)顯微鏡

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詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

半導(dǎo)體檢測(cè)顯微鏡產(chǎn)品介紹

? 帶目鏡觀察的小巧顯微鏡單元。適于檢測(cè)金屬表面、半導(dǎo)體、液晶基板、樹脂等。

? 多種顯微鏡鏡體通常用作適用于專業(yè)器械的OEM (原廠委制) 產(chǎn)品,如那些利用YAG (近紅外、可見、近紫外或紫外) 激光* 對(duì)半導(dǎo)體晶片進(jìn)行檢測(cè)和修補(bǔ)的設(shè)備。* 不保證激光系統(tǒng)產(chǎn)品的性能和安全性。

? 應(yīng)用:切割、修整、校正、 給半導(dǎo)體電路做標(biāo)記/ 薄膜(絕緣膜) 清潔與加工、液晶彩色濾光器的修復(fù)(校正錯(cuò)誤)。還可用作光學(xué)觀察剖面圖以便探針分析半導(dǎo)體故障。

? 可用于紅外光學(xué)系統(tǒng)*。應(yīng)用:晶體硅的內(nèi)部觀察;紅外光譜特征分析。* 需要紅外光源和紅外攝像機(jī)。

? 支持BF (亮視場(chǎng))、DF (暗視場(chǎng))、偏振光及微分干涉對(duì)比(DIC) 的型號(hào)(產(chǎn)品) 可用。

? 帶有孔徑光闌的柯勒照明是表面照明光學(xué)系統(tǒng)上的標(biāo)準(zhǔn)配件。

? 內(nèi)傾轉(zhuǎn)塔和超長(zhǎng)工作距離的物鏡確保了顯微鏡下的高可操作性。

半導(dǎo)體檢測(cè)顯微鏡技術(shù)參數(shù)

型號(hào)

FS70

FS70-TH

FS70Z

FS70Z-TH

FS70L

FS70L-TH

FS70L4

FS70L4-TH

型號(hào)

FS70S

FS70-THS

FS70ZS

FS70Z-THS

FS70LS

FS70L-THS

FS70L4S

FS70L4-THS

聚焦調(diào)節(jié)

使用同心粗調(diào)(3.8mm/rev)和微調(diào)(0.1mm/rev)對(duì)焦輪(右/左)實(shí)現(xiàn)50mm行程范圍

圖像

正像

物鏡筒鏡

西登托夫型, 調(diào)節(jié)范圍: 51 - 76mm

視場(chǎng)數(shù)

24mm

俯角

-

0°-20°

-

0°-20°

-

0°-20°

-

0°-20°

透過率

固定(目

鏡/TV=

50%/50%)

可調(diào)型(目

鏡/管徑=

99%/0%

0%/99%)

固定(目

鏡/TV=

50%/50%)

可調(diào)型(目鏡/管徑=99%/0%:0%/99%)

防護(hù)濾光片

-

內(nèi)置激光濾光片

管徑鏡頭

1x

1x-2x放大

1x

適用激光

-

1064/532/355nm

532/266nm

相機(jī)安裝端口

C-mount (適用適配器B選件)

使用帶TV接口的激光

C-mount開關(guān)

(帶綠色濾光片轉(zhuǎn)換開關(guān))

照明系統(tǒng)(選件)

亮視場(chǎng)反射照明 (科勒照明、帶孔徑光闌)

12V100W亮視場(chǎng)反射照明、無(wú)極亮度調(diào)節(jié)、光纖長(zhǎng)度

物鏡

(用于觀察)

M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo

物鏡(用于激光切割)

-

M/LCD Plan NIR,

M/LCD Plan NUV

M Plan UV

載重

14.5kg

13.6kg

14.1kg

13.2kg

14.2kg

13.5kg

13.9kg

13.1kg

重量(主機(jī))

6.1kg

7.1kg

6.6kg

7.5kg

6.4kg

7.2kg

6.7kg

7.5kg

燈泡更換

標(biāo)準(zhǔn): 鹵素?zé)襞?(12V, 100W) (517181)

用于光纖傳導(dǎo)照明裝置 (12V, 100W) (378-700)

注:鏡體的載重不包括物鏡鏡頭和目鏡的重量。

半導(dǎo)體檢測(cè)顯微鏡標(biāo)準(zhǔn)配置

主機(jī);

物鏡筒鏡;

管徑鏡頭;

照明系統(tǒng);

物鏡;

半導(dǎo)體檢測(cè)顯微鏡可選配件

照明系統(tǒng):亮視場(chǎng)反射照明 (科勒照明、帶孔徑光闌);

12V100W亮視場(chǎng)反射照明、無(wú)極亮度調(diào)節(jié)、光纖長(zhǎng)度;

物鏡:M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo;


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