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等離子體流動控制設(shè)備采用質(zhì)量流量控制法對等離子體進行氣體流量、密度、溫度、壓力的控制。等離子體流動控制設(shè)備可靠性高、重復(fù)性高。寬范圍的參數(shù)調(diào)節(jié)范圍，可使用多種氣體，實現(xiàn)范圍的參數(shù)選擇。 手自一體控制模式，方便操作。 PLC控制功率、質(zhì)量流量控制等實現(xiàn)參數(shù)的精確控制和記錄。適合各種材質(zhì)，例如高分子材料、陶瓷、金屬等的表面處理。
超長耐用 輕便簡潔 操作簡單 放心選擇
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等離子體是電子，離子等帶電粒子，中性粒子，原子，分子和微粒。自由基以及紫外線等高能量物質(zhì)等組成的準中性且具有集體效應(yīng)的混合氣體，而等離子體流動控制設(shè)備采用質(zhì)量流量控制法對等離子體進行氣體流量、密度、溫度、壓力的控制。
特點
等離子體流動控制設(shè)備可靠性高、重復(fù)性高。
寬范圍的參數(shù)調(diào)節(jié)范圍，可使用多種氣體，實現(xiàn)范圍的參數(shù)選擇。
手自一體控制模式，方便操作。
PLC控制功率、質(zhì)量流量控制等實現(xiàn)參數(shù)的精確控制和記錄。
適合各種材質(zhì)，例如高分子材料、陶瓷、金屬等的表面處理。
☆耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。
耐用
耐腐
☆主體采用不銹鋼（304或316L）結(jié)構(gòu)，氣密材料采用VITON、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。
☆具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動、工作穩(wěn)定可靠。
穩(wěn)定
精確計量
安裝便捷
☆可任意位置安裝。電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動控制系統(tǒng)配合。
☆配合流量積算儀，可對氣體的瞬時流量和累積流量進行精確計量。
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環(huán)保
半島體
微電子工藝設(shè)備
醫(yī)藥
科研院所
精密濃度傳感器工藝
特種材料學(xué)科
化學(xué)化工
食品保鮮
應(yīng)用行業(yè)：半導(dǎo)體材料，電工陶瓷材料，電子元器件光電子，激光儀器，儀器儀表，光儀及配件，工業(yè)自動化裝置，電子電工產(chǎn)品制造設(shè)備，電子電工產(chǎn)品設(shè)計加工等其他。
用于進行精密測量，具有精度高，穩(wěn)定性好，可靠性高，安裝簡單，操作方便。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。
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