好處

· 降低成本

· 制程氣體分配系統(tǒng)快速達(dá)標(biāo)

· 監(jiān)測(cè)氣體中的粒子變化，以防影響產(chǎn)量

· 系統(tǒng)配置兩套設(shè)備：采樣傳感器和數(shù)據(jù)系統(tǒng)

· 改善制程控制

· 規(guī)格驗(yàn)證

· 檢測(cè)制程干擾

· 量化系統(tǒng)變化造成的影響

· 精確測(cè)量粒徑

· Facility Net軟件的數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)具有全面的數(shù)據(jù)儲(chǔ)存、管理、報(bào)告、報(bào)警等功能

· 可靠性高

· 無(wú)源腔設(shè)計(jì)，無(wú)需頻繁維修保養(yǎng)

· 無(wú)需流體即可完成監(jiān)測(cè)，這是其它系統(tǒng)所不具備的優(yōu)點(diǎn)

· 以管線氣壓采集加壓惰性氣體樣本

應(yīng)用

· 氣體分配系統(tǒng)規(guī)則達(dá)標(biāo)

· 監(jiān)測(cè)制程氣體