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◆功能：
主要針對wafer上每Die逐片點燈以進行 光學性能，電氣性能 AOI檢測
◆規(guī)格：
wafer Probe： 支持100mm/125mm/150mm/200mm Wafer
Cassette Loader，支持 Wafer自動上下料
客制化Prober Card，支持單通道&多通道測試
搭載151M光學光譜儀鏡頭 ，支持8K分辨率，支持最小子像素0.8um
支持色度亮度測試
主動防震臺支持VC-D/F等級
支持CIM&MES系統(tǒng)整合
◆特點:
·晶圓光學測試系統(tǒng)，8&12inch各種材質晶圓;
·自動三軸運動控制;
·Wafer上下料，自動對位，自動測試;
·多功能夾具，支持8”&12”探針卡;
·多儀器搭載，支持AOI與光學測試。
| 項目 | 規(guī)格 |
| 尺寸 | 長*寬高2.84m*1.90m*2.40m |
| 測試樣品大小 | 8”&12" wafer |
| 光譜儀 | CS-2000ASR-UL2/PR788/SR3 |
| 相機 | 4300萬,高分辨率CCD |
| 運動系統(tǒng) | 采用高精度伺服電機,高精度滾珠螺桿 |
| 功能 | 色度、亮度、均勻性、光譜測試等;支持:點、線面缺陷測試, mura測試 |
| 信號 | 支持特儀自制信號機以及市面通用品牌信號機,支持客制化信號,信號格式 TTL/LVDS/MIPI/HDMI/edp/2K&4K&8K等 |
| 電源 | 支持高精度多路直流電源輸出,以及客制化電源需求 |
| 軟件 | 特儀自主開發(fā)之軟件,全中文版,C#編程模塊化,操作簡單, UI界面可依據客 戶需求進行定制,軟件自帶各標準測試手法,可以通過直接調用模式進行測試 |
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