溫度范圍：

  l 密閉低溫+高溫：-60℃ ~ +120 ℃/ 200℃/400 ℃

  l 真空低溫+高溫：-196 ℃ /269 ℃ ~ +120 ℃/ 200 ℃/ 400 ℃/500 ℃/900℃/1200℃

樣品臺尺寸：

  l 密閉高低溫樣品臺：4英寸/6英寸/8英寸/12英寸

  l 真空高低溫樣品臺：1.25英寸/2英寸/4英寸

顯微觀察倍率：

  l 體視顯微鏡：綜合放大倍率14X~200X（配合CCD相機(jī)+顯示器），光學(xué)小分辨率約5微米；

  l 金相顯微鏡：綜合放大倍率20X~2000X （配合CCD相機(jī)+顯示器），光學(xué)小分辨率約0.5微米。

微定位座和夾具：

  l 器件是幾端口，二極管為2端，三極管為3端，場效應(yīng)管為4端，特殊多端口器件；

  l 測量何種參數(shù)，電壓、電流、電阻、電容、單色光、激光、光譜、光強(qiáng)等；

  l 配套儀表，數(shù)字源表、半導(dǎo)體參數(shù)分析儀、矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀、頻譜儀、信號發(fā)生器、示波器、鎖相放大器等