檢測大尺寸樣品–擁有自動聚焦系統(tǒng)且滿足超凈室等級要求分析從最小的MEMS傳感器到超大XXL晶圓，或甚至整塊平板顯微器，其間不會對樣品造成破壞

• 兩種手動和一種電動機柱（配有符合工業(yè)標準的三個模式控制按鈕）可供選擇，充分利用顯微鏡 300 mm 橫向與縱向移動距離和 254 mm 垂直深度的優(yōu)勢。
• Axio Imager Vario 能通過物鏡轉(zhuǎn)盤的上下移動來聚焦樣品。這就意味著，即便是較重的樣品，也可以獲得高精準聚焦精度和可重復(fù)性。
• 借助自動聚焦硬件，您可以精準快速地聚焦低對比度的反射樣品。
• Axio Imager Vario 與 LSM 700 組合應(yīng)用，以高分辨率無接觸地分析敏感樣品。
• Axio Imager Vario 已通過 DIN EN ISO 14644-1 標準認證，并滿足潔超凈室等級 5 的要求。