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MX63/MX63L 半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡

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滿足電子行業(yè)需求功能性為滿足電子行業(yè)的人體工學(xué)和安全性要求而設(shè)計(jì)的附加功能以增強(qiáng)分析能力人性化簡潔的顯微鏡設(shè)置使用戶調(diào)整和再調(diào)用系統(tǒng)配置變得更為輕松

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滿足電子行業(yè)需求

功能性

為滿足電子行業(yè)的人體工學(xué)和安全性要求而設(shè)計(jì)的附加功能以增強(qiáng)分析能力

人性化

簡潔的顯微鏡設(shè)置使用戶調(diào)整和再調(diào)用系統(tǒng)配置變得更為輕松。

的成像技術(shù)

我們成熟可靠的光學(xué)器件和優(yōu)良的成像技術(shù)可獲得清晰圖像,并完成可靠檢測。

模塊化

用戶可通過選擇適合其應(yīng)用的模塊進(jìn)行系統(tǒng)定制。

的分析工具

MX63系列的各種觀察功能可生成清晰的圖像,讓用戶能夠?qū)悠愤M(jìn)行可靠的缺陷檢測。全新
照明技術(shù)以及奧林巴斯Stream圖像分析軟件的圖像采集選項(xiàng)為用戶評估樣品和存檔檢測結(jié)
果提供更多選擇。

從不可見到可見:MIX觀察與采集
通過暗場與明場、熒光或偏光等其他觀察方法結(jié)合使用,MIX觀察技術(shù)能夠獲得特殊的觀察圖像。MIX觀察技術(shù)可讓用戶發(fā)現(xiàn)用傳統(tǒng)顯微鏡難以觀察的缺陷。暗場觀察所用的環(huán)形LED照明器具有可四象限分段照明的定向暗場功能。該功能可減少樣品光暈,有助于觀察樣品的表面紋理。

輕松生成全景圖像:即時(shí)MIA

利用多圖像拼接(MIA)功能, 用戶移動(dòng)手動(dòng)載物臺上的XY旋鈕即可輕松快速地完成圖像拼接—電動(dòng)載物臺無需該操作。奧林巴斯Stream軟件利用圖案識別生成全景圖像,讓用戶獲得更寬的視場。

生成全聚焦圖像:EFI

奧林巴斯Stream軟件的擴(kuò)展聚焦成像(EFI) 功能可采集高度超出景深范圍的樣品圖像。EFI將這些圖像堆疊在一起生成單幅全聚焦樣品圖像。EFI配合手動(dòng)或電動(dòng)Z軸載物臺使用,可輕松生成結(jié)構(gòu)可視化的高度圖像。EFI圖像可在奧林巴斯Stream桌面軟件內(nèi)離線生成。

利用HDR采集明亮區(qū)域和暗光區(qū)域

利用的圖像處理技術(shù),高動(dòng)態(tài)范圍(HDR)可在圖像內(nèi)調(diào)整亮度差異,以減少眩光。HDR改善了數(shù)字圖像的視覺品質(zhì),從而有助于生
成具有專業(yè)級的報(bào)告。

從基本測量到高級分析

測量對于品質(zhì)、工藝控制和檢測非常重要?;谶@一想法,即便入門級奧林巴斯Stream軟件包也包括交互測量功能的全部菜單,并且所有測量結(jié)果與圖像文件一起保存以便日后調(diào)用文檔。此外,奧林巴斯Stream材料解決方案可為復(fù)雜圖像分析提供直觀的工作流界面。點(diǎn)擊按鈕,圖像分析任務(wù)即可快速精準(zhǔn)完成。可大幅度縮減重復(fù)性任務(wù)的處理時(shí)間,使操作人員的精力集中在檢測工作上。

高效的報(bào)告創(chuàng)建
創(chuàng)建報(bào)告所用的時(shí)間常常比采集圖像和測量還長。奧林巴斯Stream軟件提供了直觀的報(bào)告創(chuàng)建功能,能夠根據(jù)預(yù)先設(shè)定的模板多次創(chuàng)建專業(yè)復(fù)雜的報(bào)告。編輯非常簡單,報(bào)告可導(dǎo)出為MicrosoftWord或PowerPoint文件。此外,奧林巴斯Stream報(bào)告功能能夠?qū)Σ杉膱D像進(jìn)行數(shù)碼變焦和倍率放大。報(bào)告文件大小適中,通過電子郵件進(jìn)行數(shù)據(jù)傳遞更加方便。

獨(dú)立相機(jī)選項(xiàng)
測量對于品質(zhì)、工藝控制和檢測非常重要。基于這一想法,即便入門級奧林巴斯Stream軟件包也包括交互測量功能的全部菜單,并且所有測量結(jié)果與圖像文件一起保存以便日后調(diào)用文檔。此外,奧林巴斯Stream材料解決方案可為復(fù)雜圖像分析提供直觀的工作流界面。點(diǎn)擊按鈕,圖像分析任務(wù)即可快速精準(zhǔn)完成。可大幅度縮減重復(fù)性任務(wù)的處理時(shí)間,使操作人員的精力集中在檢測工作上。使用DP22或DP27顯微鏡相機(jī)的MX63系列是一套的獨(dú)立系統(tǒng)。該相機(jī)采用幾乎不占空間的緊湊型控制盒控制,在采集清晰圖像以及進(jìn)行基本測量工作的同時(shí)讓實(shí)驗(yàn)室空間得到充分利用。

直觀的顯微鏡控制:舒適且使用方便

顯微鏡設(shè)置操作簡單,讓用戶調(diào)整和再調(diào)用系統(tǒng)配置更加輕松。

快速尋找焦點(diǎn):聚焦輔助

在光程內(nèi)插入聚焦輔助可以輕松無誤地實(shí)現(xiàn)諸如裸晶片之類低對比度樣品的對焦。在焦平面上的網(wǎng)格對焦讓您的樣品對焦更加簡單。

利用光強(qiáng)管理器和自動(dòng)孔徑控制實(shí)現(xiàn)快速觀察

對于常規(guī)顯微鏡,使用者每次觀察都需要調(diào)整光強(qiáng)度和孔徑。MX63系列讓使用者能夠針對不同的倍率和觀察方法設(shè)定光強(qiáng)和孔徑條件。這些能夠輕松調(diào)用的設(shè)置即可幫助使用者節(jié)省時(shí)間又可獲得優(yōu)良的圖像質(zhì)量。

人體工學(xué)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)更快、更舒適的操作

更換物鏡以及調(diào)整孔徑光闌的控制器位于顯微鏡前面較低的位置,因此使用者在使用過程中無須松開對焦旋鈕或?qū)㈩^從目鏡上移開。


為質(zhì)量檢驗(yàn)提供精細(xì)的光學(xué)性能和數(shù)碼成像技術(shù)

奧林巴斯研發(fā)高質(zhì)量光學(xué)器件和數(shù)碼成像技術(shù)的悠久歷史成就了具有測量精度的
一系列可靠光學(xué)器件和顯微鏡。

的光學(xué)性能:
波陣面像差控制

物鏡鏡頭的光學(xué)性能對于觀察圖像品質(zhì)和分析結(jié)論有著直接的影響。奧林巴斯UIS2高倍率物鏡可限度減小波陣面像差,從而獲得可靠的光學(xué)性能。

始終一致的色溫:
高強(qiáng)度白色LED照明

MX63系列采用高強(qiáng)度白色LED光源進(jìn)行反射和透射照明。無論光強(qiáng)度如何,LED光源均可保持始終如一的色溫,從而實(shí)現(xiàn)可靠的圖像質(zhì)量和色彩復(fù)現(xiàn)。LED系統(tǒng)可提供非常適合材料科學(xué)應(yīng)用的高效率、長壽命照明。

精確測量:自動(dòng)校準(zhǔn)

與數(shù)碼顯微鏡類似,當(dāng)使用奧林巴斯Stream軟件時(shí)可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)校準(zhǔn)。自動(dòng)校準(zhǔn)有助于消除校準(zhǔn)過程中的人為偏差,保證了更可靠的測量。自動(dòng)校準(zhǔn)采用的算法可根據(jù)多個(gè)測量點(diǎn)均值自動(dòng)
計(jì)算正確的校準(zhǔn)值。由此限度減小了因不同操作者所導(dǎo)致的偏差,并始終保持穩(wěn)定的精度,提高了常規(guī)驗(yàn)證的可靠性。

清晰的圖像:
圖像陰影校正

奧林巴斯Stream軟件具有解決圖像角落周邊陰影問題的陰影校正功能。在配合強(qiáng)度閾值設(shè)置使用時(shí),陰影校正可實(shí)現(xiàn)更加精確的分析。

技術(shù)規(guī)格


MX63 MX63L
光學(xué)系統(tǒng) UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無限遠(yuǎn)校正系統(tǒng))
顯微鏡鏡架 反射光照明
(FN 26.5)
白光LED (帶有光強(qiáng)管理器) 12伏100瓦鹵素?zé)? 100瓦汞燈 明場/暗場/分光鏡組,手動(dòng)切換。(分光鏡為選配件。)
通過手動(dòng)操作更換3位置分光鏡編碼
內(nèi)置電動(dòng)孔徑光闌 (針對每個(gè)物鏡預(yù)設(shè), 暗場觀察時(shí)自動(dòng)全開) 觀察模式: 明場、暗場、微分干涉 (DIC)*1, 簡單偏振*1, 熒
光*1, 紅外*1 和MIX觀察 (4個(gè)定向暗場)
*1 選配分光鏡, 2 需要MIX觀察配置
透射光照明
(FN 26.5)
需要透射光照明單元MX-TILLA或MX-TILLB。
帶有聚光器(NA 0.5) 的透射光照明單元和孔徑光闌:MX-TILLA
帶有聚光器(NA 0.6) 的透射光照明單元和孔徑光闌和視場光闌:MX-TILLB
光源:LG-PS2 (12 V, 100 瓦鹵素?zé)? 導(dǎo)光:LG-SF
觀察模式: 明場, 簡單偏振
聚焦 行程:32毫米
每轉(zhuǎn)行程微調(diào):100微米
最小分度:1微米
用于粗調(diào)的上限限位器和扭矩調(diào)節(jié)
負(fù)載重量(包括載物臺
和支架)
8 kg 15 kg
觀察筒 寬視場
(FN 22)
正像三目觀察筒:U-ETR4
正像傾斜式三目觀察筒:U-TTR-2
倒像三目觀察筒:U-TR30-2、U-TR30IR (用于紅外觀察)
倒像雙目觀察筒:U-BI30-2
倒像傾斜式雙目觀察筒:U-TBI30
超寬視場
(FN 26.5)
正像傾斜式三目觀察筒:MX-SWETTR (光程切換99% (目鏡):0 (相機(jī)) 或0:99%) 正像傾斜式三目觀察筒:U-SWETTR
(光程切換99% (目鏡) :0 (相機(jī)) 或 20% :80%) 倒像三目觀察筒:U-SWTR-3
電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤

明場
六孔電動(dòng)轉(zhuǎn)盤,帶DIC插槽:U-D6REMC
五孔可調(diào)中心電動(dòng)轉(zhuǎn)盤,帶DIC插槽:U-P5REMC
明場和暗場
六孔電動(dòng)轉(zhuǎn)盤,帶DIC插槽:U-D6BDREMC
五孔電動(dòng)轉(zhuǎn)盤,帶DIC插槽:U-D5BDREMC
五孔可調(diào)中心電動(dòng)轉(zhuǎn)盤,帶DIC插槽:U-P5BDREMC

載物臺 (X × Y)

帶內(nèi)置離合驅(qū)動(dòng)的同軸右手柄:MX-SIC8R
行程:210 x 210毫米
透射光照明區(qū)域:189 x 189毫米 帶內(nèi)置離合驅(qū)動(dòng)的同軸
右手柄:
MX-SIC6R2
行程:158 x 158毫米 (僅適用于反射光)

帶內(nèi)置離合驅(qū)動(dòng)的同軸右手柄:MX-SIC1412R2
行程:356 x 305毫米
透射光照明區(qū)域:356 x 284毫米
重量 約50公斤 (顯微鏡架37.5公斤) 約64公斤 (顯微鏡架44公斤)



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