真空計(jì)的常見種類與應(yīng)用范圍-儀器網(wǎng)

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真空計(jì)的常見種類與應(yīng)用范圍

2019年08月30日 11:59

　　【儀器網(wǎng) 行業(yè)應(yīng)用】真空計(jì)用于測(cè)量真空度或低于大氣壓的稀薄氣體的氣壓，是一種使用廣泛的儀表。真空計(jì)的種類有很多，適用范圍也各有不同。掌握常見的真空計(jì)種類有利于正確選擇真空計(jì)類型。

　　真空計(jì)可分為真空計(jì)和相對(duì)真空計(jì)兩大類。

　　一、真空計(jì)

　　能從液柱高度、比重等本身測(cè)得的物理量直接計(jì)算出氣體壓力的真空計(jì)。真空計(jì)測(cè)量精度較高，主要用作基準(zhǔn)量具。

　　1.U形管真空計(jì)

　　原理：在U字形的玻璃管中充以工作液(低蒸氣壓的油、汞)。管的一端與待測(cè)壓力的真空容器相連，另一端是封死的或開口與大氣相通。根據(jù)兩邊管中的壓差所造成的液柱差可測(cè)出被測(cè)真空系統(tǒng)的壓力。

　　測(cè)量范圍：粗真空(105～102帕)、低真空(102～10-1帕)

　　2.壓縮式真空計(jì)(麥克勞真空計(jì))

　　原理：把待測(cè)壓強(qiáng)氣體的一部分進(jìn)行隔離并加以壓縮，直到壓強(qiáng)增大到可以直接測(cè)量的程度，然后根據(jù)波義耳-馬略特定律求出原來待測(cè)的壓強(qiáng)

　　測(cè)量范圍：低真空(102～10-1帕)、高真空(10-1～10-5帕)

　　二、相對(duì)真空計(jì)

　　利用氣體在低壓力下的熱傳導(dǎo)、電離、粘滯性和應(yīng)變等物理特性與壓力的關(guān)系間接測(cè)量氣體壓力。相對(duì)真空計(jì)能直接讀出被測(cè)壓力，使用廣泛，但是測(cè)量精度較低，測(cè)量結(jié)果與被測(cè)氣體種類和成分有關(guān)，因此須用真空計(jì)標(biāo)定和校準(zhǔn)后方能用作真空測(cè)量。

　　1.電阻真空計(jì)(皮拉尼真空計(jì))

　　原理：真空度影響空氣的熱傳導(dǎo)性，從而影響正在加熱的電阻絲的溫度。因?yàn)殡娮杞z的電阻率與溫度有關(guān)，所以不同的真空度電阻率也會(huì)不同，導(dǎo)致電壓發(fā)生改變，根據(jù)電壓的變化就能換算出空氣壓強(qiáng)。

　　測(cè)量范圍：低真空(102～10-1帕)

　　2.熱陰極電離真空計(jì)(電離真空計(jì))

　　原理：當(dāng)氣體導(dǎo)電時(shí)，氣體分子與高速飛行的電子發(fā)生碰撞而電離，碰撞的頻率與氣體分子的密度有關(guān)。密度大，碰撞的頻率就高，產(chǎn)生的離子也越多；而氣體分子的密度又與氣體的壓強(qiáng)有著直接關(guān)系，因此，如果能測(cè)定氣體中被電離的離子流的大小，即可確定氣體的壓強(qiáng)。

　　測(cè)量范圍：高真空(10-1～10-5帕)

　　3.冷陰極電離真空計(jì)

　　原理：與熱陰極電離真空計(jì)一樣，是利用低壓力下氣體分子的電離電流與壓力有關(guān)的特性，用放電電流做為真空度的測(cè)量。不同的是冷陰極電離真空計(jì)利用的是真空中的高電壓放電現(xiàn)象，也被稱為冷規(guī)。

　　測(cè)量范圍：高真空(10-1～10-5帕)

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