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目錄:北京歐屹科技有限公司>>光學(xué)檢測設(shè)備>> LODAS晶圓缺陷檢測系統(tǒng)

晶圓缺陷檢測系統(tǒng)
  • 晶圓缺陷檢測系統(tǒng)
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 品牌
  • 型號 LODAS
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 所在地 北京市
屬性

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更新時(shí)間:2022-03-04 16:26:32瀏覽次數(shù):1018評價(jià)

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可一次性檢查第三代半導(dǎo)體 SIC 等材料表面,背面和內(nèi)部的缺陷,可探測最小缺陷為100 納米,主要用于半導(dǎo)體光罩、 LCD 大型光罩的石英玻璃表面、內(nèi)部、背面的缺陷檢查 。

列真公司在半導(dǎo)體光罩檢測設(shè)備上積累了獨(dú)自技術(shù), 主產(chǎn)品 LODAS ™系列具有日本的激光檢測技術(shù),可同時(shí)探測收集激光的反射光,透射光以及共聚焦,可一次性檢查第三代半導(dǎo)體 SIC 等材料表面,背面和內(nèi)部的缺陷,可探測最小缺陷為100 納米,主要用于半導(dǎo)體光罩、 LCD 大型光罩的石英玻璃表面、內(nèi)部、背面的缺陷檢查 。將此項(xiàng)技術(shù)運(yùn)用于第三代半導(dǎo)體材料的缺陷檢查,將提升量產(chǎn)成品率將具有重要意義。

應(yīng)用: SiC、GaN 

        半導(dǎo)體光罩(石英玻璃與涂層)、

        石英Wafer    Si Wafer  

        HDD Disk LT Wafer 

        藍(lán)寶石襯底、

        EUV光罩、

        光罩防塵膜

 

  可全面檢測 表面、內(nèi)部、背面的缺陷

    外延缺陷

    胡蘿卜型缺陷

    彗星缺陷

    三角缺陷

    邊緣缺陷

 

    襯底缺陷

    微管缺陷

    層錯(cuò)缺陷

    六方空洞缺陷

 


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