所 在 地：英國
技術(shù)參數(shù)
(1) 類型： CCI 干涉（相干相關(guān)干涉）
(2) 分辨率： 0.1 A
(3) 測量點數(shù)： 1,048,576 ( 1024 x 1024 點陣 )

主要特點 

•的相干相關(guān)算法 

•0.01nm分辨率 

•10-20秒測量時間 

•RMS重復(fù)性：0.03A      

Talysurf  CCI三維非接觸形貌儀采用CCI（技術(shù)的相干相關(guān)算法）干涉原理，可高精度測量表面形貌、表面粗糙度及關(guān)鍵尺寸，并計算關(guān)鍵部位的面積和體積。主要應(yīng)用于數(shù)據(jù)存儲器件，半導(dǎo)體器件，光學(xué)加工以及MEMS/MOEMS技術(shù)以及材料分析領(lǐng)域。