真空艙體 ；Φ150mm × L320 mm　水平 (5 升) * 不銹鋼艙體 * 40KHz 射頻發(fā)生器 * 高效針孔電極 * 數(shù)字計時器可自動設定操作程序 * 皮拉尼真空泵可設定重復操作 * 銅氣體管、氣體流量計、 針閥 * 使用氣體流量計和針閥控制氣體 * 自動計時器控制等離子處理過程 * 半自動控制 * 功率連續(xù)可調 0-200W * 自動阻抗匹配 * 自由設置參數(shù)：處理時間、功率、氣體*

Prep-5型 等離子清洗/刻蝕機

真空艙體 ；Φ150mm × L320 mm　水平 （5 升） 
* 不銹鋼艙體 
* 40KHz 射頻發(fā)生器 
* 高效針孔電極 
* 數(shù)字計時器可自動設定操作程序 
* 皮拉尼真空泵可設定重復操作 
* 銅氣體管、氣體流量計、 針閥 
* 使用氣體流量計和針閥控制氣體 
* 自動計時器控制等離子處理過程 
* 半自動控制 
* 功率連續(xù)可調 0-200W 
* 自動阻抗匹配 
* 自由設置參數(shù)：處理時間、功率、氣體
* 安全保護功能：真空觸發(fā)、艙門鎖

* 電磁閥保護，回流油霧不能進入反應艙 
* 規(guī)格：W550 mm × H330 mm × D500 mm
* 電源：AC 220V/50Hz
* 真空泵：萊寶Leybold Type Trivac D2.5B （2.5 m3/h）
選裝件 
* 13.56 MHz 射頻發(fā)生器 
* 2.45 GHz 射頻發(fā)生器 
* 硅酸鹽艙體（外置環(huán)形電極）或石英艙體

配件選裝指南

·  13.56MHz射頻發(fā)生器   

 ·  2.45GHz射頻發(fā)生器    

 ·  半自動控制系統(tǒng) 

  ·  全自動控制系統(tǒng)- 操作輕松簡便的控制系統(tǒng) 

·  計算機（PC）控制系統(tǒng)- 操作輕松簡便的控制系統(tǒng)同時可記錄處理的整個過程 

·  附加氣體通路   

 ·  自動真空艙門    

·  設備自動門   

·  條碼閱讀器  

 ·  偏壓測量系統(tǒng)  

 ·  碟型閥 

·  排氣過濾系統(tǒng)   

 ·  適用于腐蝕性氣體系統(tǒng)    

·  艙體托盤可訂做 - 適合艙體的*尺寸 

·  粉末處理裝置    ·  法拉第容器 

等離子清洗應用領域:

金屬---去除金屬表面的油脂,油污等有機物及氧化層

汽車制造---用于汽車制造過程中的塑料和噴漆前處理

紡織品生產(chǎn)---用于紡織品,濾網(wǎng)和薄膜的親水性,疏水性和表面改性處理

生物醫(yī)療---培養(yǎng)皿提高活性，血管支架，注射器，導管和各種材料的親潤，交合涂覆前處理。

航空航天---絕緣材料，電子元件等表面涂覆前處理

電子---線路板的清洗和蝕刻。膠片，PP等材料的無氧化和活化處理，改進可焊性

半導體行業(yè)---晶圓加工及處理去除光刻膠，封裝前預處理

LED---支架清洗封裝前預處理

塑料橡膠- --提高PS，PE，PTFE，TPE，POM，AS和PP等材料表面活性，使其利于粘接，印刷。

等離子清洗機應用：

1．表面活化/清洗； 2. 等離子處理后粘合;  3. 等離子蝕刻/活化;  4. 等離子去膠;   5. 等離子涂鍍（親水,疏水）;  6. 增強邦定性.