質(zhì)?量混配氣系統(tǒng)由單路或多路質(zhì)量流量計(jì)控制、混合連續(xù)供氣，實(shí)現(xiàn)了氣體的質(zhì)量流量精密測(cè)量和控制；結(jié)合我司各種規(guī)格型號(hào)的管式爐、CVD系統(tǒng)及退火爐等對(duì)材料、氣體流量的精確測(cè)量和控制，應(yīng)用性強(qiáng)；具有混氣均勻，控制精度高，數(shù)顯直觀，操作靈敏等優(yōu)點(diǎn)。

質(zhì)?量混配氣系統(tǒng)主要功能和特點(diǎn)：

1、質(zhì)量流量計(jì)、流量顯示儀分體式連接，便于操作及使用；

2、控制精度高，響應(yīng)快，極低的零漂及溫漂，良好的兼容性；

3、系統(tǒng)配有混氣罐，可單路或多路配合進(jìn)氣；

4、每條氣體管路均配有安全截止閥，確保系統(tǒng)的安全可靠；

5、流量控制器的規(guī)格型號(hào)可根據(jù)要求定制；

6、采用世偉洛克卡套接頭連接，保證良好的密封性；

7、整體式爐架結(jié)構(gòu)，搭配性能強(qiáng)，可放置我司各種規(guī)格型號(hào)的管式爐等；

8、可通過(guò)軟件支持人機(jī)交互界面，操作簡(jiǎn)單方便；

9、預(yù)留真空系統(tǒng)位置，可選不同真空系統(tǒng)，組合搭配方便快捷。

質(zhì)?量混配氣系統(tǒng)主要用途和適用范圍：

用于高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD/CVI實(shí)驗(yàn)等精密氣體的流量控制。

注意：嚴(yán)禁氫氣和氧氣同時(shí)供氣，保證安全

質(zhì)?量混配氣系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品型號(hào)

HQ-Z（通過(guò)歐盟CE認(rèn)證，證書(shū)編號(hào)：4635230915/4636230915）

爐體結(jié)構(gòu)

雙層爐架結(jié)構(gòu)，預(yù)留真空系統(tǒng)，組合性強(qiáng)

控制方式

質(zhì)量流量計(jì)配合流量顯示儀

流量規(guī)格

0－500SCCM/0－1SLM（可根據(jù)客戶需要配置）

線性

±0.2%F.S.

準(zhǔn)確度

±1.5%F.S.

重復(fù)精度

±1.5%F.S.

響應(yīng)時(shí)間

≤8sec

耐壓

3MPa

氣路通道

多通道（根據(jù)客戶需求）

混氣罐

SUS316不銹鋼，尺寸：Φ100*200mm

閥  門(mén)

SUS316不銹鋼卡套針閥

管　道

Φ6mm無(wú)縫鋼管管

接　口

SwagelokΦ6mm

尺寸和重量

設(shè)備：530*1200*850mm （深*寬*高）；凈重   kg

標(biāo)準(zhǔn)配置

 主機(jī)1臺(tái)，說(shuō)明書(shū)、合格證、保修卡各1份