鏡利用探針對樣品掃描，探針固定在對探針與樣品表面作用力極敏感的微懸臂上。懸臂受力偏折會引

起由激光源發(fā)出的激光束經(jīng)懸臂反射后發(fā)生位移。檢測器接受反射光，zui后接受信號經(jīng)過計算機(jī)系統(tǒng)

采集、處理、形成樣品表面形貌圖像。

計算機(jī)全數(shù)字化控制，操作簡捷直觀。 

步進(jìn)馬達(dá)自動進(jìn)行針尖--樣品逼近，保證實驗圓滿成功。 

深度陡度測量，三維顯示。 

納米材料粗糙度測量、顆粒徑度測量及分布統(tǒng)計。 

Ｘ、Ｙ二維樣品移動平臺，快速搜索樣品區(qū)域． 

標(biāo)準(zhǔn)RS232串行接口,無需任何計算機(jī)卡 

樣品觀測范圍從0.001um-20000um。 

掃描速度達(dá)40000點/秒 

可選配納米刻蝕功能模塊。