系統(tǒng)/機(jī)種

LP-1300 BSD

LP-1600 BSD

LP-1800 BSD

腔體尺寸

直徑

1300 mm

1600mm

1800mm

高度

1300 mm~1800  mm

1600 mm~2000  mm

1600 mm~2200  mm

可蒸鍍尺寸

-

∮375x1,400 mm x6

∮380x1,700 mm x8

∮450x1,700 mm x6

∮400x1,700 mm x8

∮540x1,700 mm x6

到達(dá)真空度

-

10-6 Torr

排氣速度

-

從1個大氣壓 到 5x10-5 Torr 約15分鐘  (空爐時)

視窗

-

1組

鎢絲數(shù)

-

18~22個

20~26個

20~26個

迴轉(zhuǎn)幫浦

公升/每分鐘

6,000~10,000

8,500~15,000

15,000

加強(qiáng)幫浦

M3/  每小時

1,500~3,000

2,000~5,000

4,000~6,000

擴(kuò)散幫浦

公升/ 每秒

45,000

45,000

45,000*2

維持幫浦

(建議配備)

300~600公升/每分鐘

真空計

-

Pirani + Cold  Cathode (1 ATM ~ 10-6 Torr)

控制箱

-

1組

高真空閥

-

28~36英吋

36英吋

36英吋

粗抽閥

-

6英吋

8英吋

10英吋

預(yù)抽閥

-

6英吋

洩氣閥

-

2英吋

維持閥

-

1英吋

蒸著電源

-

30KW

50KW

75KW

操作方式

-

自動,手動

冷卻水流量

-

100 公升/  每分鐘

120公升/  每分鐘

150公升/  每分鐘

冷卻系統(tǒng)

-

15 RT (水壓:  4Kg/ cm2,壓差:2Kg/ cm2)

冷卻水溫度

-

建議 入水18℃，出水25℃，標(biāo)準(zhǔn)溫度20±1℃

超低溫冷凍機(jī)

-

另行選配

射頻電漿產(chǎn)生器

-

另行選配

空壓機(jī)

-

3HP ~5HP(空壓:  6 ~ 8 Kg/ cm2)

空壓: 8 Kg/ cm2

電力控制系統(tǒng)

-

PLC

超低溫冷凍系統(tǒng)

-

-110 ~ -140℃(另行選配)

所需電力

-

75KW

95KW

105KW