1.自動(dòng)滴膠勻膠機(jī) 旋涂?jī)x 真空旋轉(zhuǎn)涂層機(jī) 型號(hào):HAD300-1
HAD300-1自動(dòng)滴膠勻膠機(jī)產(chǎn)品簡(jiǎn)介:主要用于液體,膠體在材料表面薄膜的形成,適用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷等制版表面涂覆工藝??稍诳蒲?,教育,中應(yīng)用。
HAD300-1自動(dòng)滴膠勻膠機(jī)主要特點(diǎn):
1可設(shè)定存儲(chǔ)26個(gè)不同樣片的旋轉(zhuǎn)涂敷工藝過(guò)程。
2每個(gè)涂敷工藝過(guò)程可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài);
3可以控制加速度
4平穩(wěn)轉(zhuǎn)速,預(yù)設(shè)值與實(shí)際值 誤差率 1‰ 。有視頻為證(如想觀看視頻,請(qǐng)我)
5端跳 1mm的±2.5%
6全自動(dòng)精確滴膠。
液晶顯示屏可以實(shí)時(shí)顯示:
1. 第N個(gè)涂敷工藝過(guò)程
2. 所處工作段
3. 真空吸片狀態(tài)。
4. 設(shè)置時(shí)間;及實(shí)時(shí)運(yùn)行時(shí)間。
5. 設(shè)置速度;及實(shí)時(shí)速度狀態(tài)。
中英文兩套操作系統(tǒng)供選擇。
人機(jī)交互式對(duì)話,簡(jiǎn)潔,明了。
HAD300-1 Spin Coater 旋涂?jī)x 真空旋轉(zhuǎn)涂層機(jī):
HAD300-1高精度滴膠勻膠機(jī)旋涂?jī)x 安裝有真空度傳感器,涂敷工作過(guò)程電腦實(shí)時(shí)檢測(cè)系統(tǒng)真空度,
在安全的真空度下,電機(jī)啟動(dòng),運(yùn)行。保障可靠吸片,不飛片。
HAD300-1高精度滴膠勻膠機(jī)旋涂?jī)x
電機(jī)轉(zhuǎn)速精度更高:
300 - 10000 轉(zhuǎn)/分,轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性:+ - 0.1 %
高轉(zhuǎn)速10000轉(zhuǎn)/分
NPP材質(zhì)工作腔,外表面潔凈光亮。美觀,方便清洗。
HAD300-1高精度自動(dòng)滴膠勻膠機(jī)旋涂?jī)x 能精確滴定一種膠體。
工作腔直徑315mm??梢孕炕睆?50mm圓片或 200mm*200mm方片 。
HAD300-1指標(biāo):
1 自動(dòng)定時(shí) :可設(shè)定 :0.01—1S 0.1—10 S
0.2—20S 0.3—30S
2 重復(fù)準(zhǔn)確度 :± 0.5 %
7小注滴量 :0.01ml
可用丙酮擦拭。
NPP的化學(xué)穩(wěn)定性優(yōu)異,對(duì)大多數(shù)酸、堿、鹽、氧化劑都顯 惰 性。例如在100℃的濃磷酸、鹽酸、40%硫酸及其它們的鹽類溶液中都是穩(wěn)定的。
HAD300-1參數(shù):
單相交流電源:220V.50Hz
電機(jī)功率:150W
62mm,標(biāo)準(zhǔn)配置)
轉(zhuǎn)數(shù):300 - 10000 轉(zhuǎn)/分。
可設(shè)定時(shí)間:1---9999秒。
可選配件 1、85升/分有油真空泵
2、真空吸盤
3. 全自動(dòng)滴膠機(jī)一臺(tái)
2.勻膠機(jī)/旋涂?jī)x/旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)/旋涂機(jī)/勻膠臺(tái) 甩膠機(jī) 型號(hào):HAKW-5
產(chǎn)品主要特點(diǎn):
1、開(kāi)關(guān)電流調(diào)速,穩(wěn)定性能,轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)以數(shù)字顯示為準(zhǔn)。
2、轉(zhuǎn)速在500~8000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定。
3、采用雙轉(zhuǎn)速。在啟動(dòng)之后,先以低速運(yùn)轉(zhuǎn),使膠攤開(kāi),然后自動(dòng)轉(zhuǎn)換到高速運(yùn)轉(zhuǎn)。兩種轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時(shí)間分別可調(diào),時(shí)間分別控制在1~18秒和3秒~1分鐘。
4、具有定時(shí)功能。
5、測(cè)速采用光電的辦法,產(chǎn)生光電脈沖,由晶體分頻測(cè)速準(zhǔn)確性高。
6、”吸片”采用電磁閥控制氣路,一個(gè)氣泵可同時(shí)帶幾臺(tái)勻膠機(jī)工作,適合流水線的工藝,提高了效率。
7、在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減振措施,保證了在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)噪音低。
1、調(diào)速范圍和勻膠時(shí)間
Ⅰ檔 調(diào)速范圍:500-1000轉(zhuǎn)/分 Ⅰ檔 勻膠時(shí)間:2-18秒
Ⅱ檔 調(diào)速范圍:1000-5000轉(zhuǎn)/分 ?、驒n 勻膠時(shí)間:3-60秒
2、適用:Φ100-Φ200mm(4”~8”)硅片及其它材料等勻膠。
3、LED數(shù)字顯示,轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度:±1%,膠的均勻性:±5%。
4、電機(jī)功率:180W,三相380V供電
5、真空泵抽氣速率60升/分
6、設(shè)備尺寸:500×500×460mm
3.勻膠機(jī)/旋涂?jī)x/旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)/旋涂機(jī)/勻膠臺(tái) 甩膠機(jī) 型號(hào);HAKW-4A
的HAKW型勻膠機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動(dòng)迅速等優(yōu)點(diǎn),并能保證半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的*性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號(hào)有HAKW-4A型和HAKW-5型。
產(chǎn)品主要特點(diǎn):
1、開(kāi)關(guān)電流調(diào)速,穩(wěn)定性能,轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)以數(shù)字顯示為準(zhǔn)。
2、轉(zhuǎn)速在500~8000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定?! ?
3、采用雙轉(zhuǎn)速。在啟動(dòng)之后,先以低速運(yùn)轉(zhuǎn),使膠攤開(kāi),然后自動(dòng)轉(zhuǎn)換到高速運(yùn)轉(zhuǎn)。兩種轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時(shí)間分別可調(diào),時(shí)間分別控制在1~18秒和3秒~1分鐘。
4、具有定時(shí)功能。
5、測(cè)速采用光電的辦法,產(chǎn)生光電脈沖,由晶體分頻測(cè)速準(zhǔn)確性高。
6、"吸片"采用電磁閥控制氣路,一個(gè)氣泵可同時(shí)帶幾臺(tái)勻膠機(jī)工作,適合流水線的工藝,提高了效率?! ?
7、在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減振措施,保證了在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)噪音低。
性能指標(biāo):
HAKW-4A型勻膠機(jī)
1、調(diào)速范圍和勻膠時(shí)間
Ⅰ檔 調(diào)速范圍:500-2000轉(zhuǎn)/分 Ⅰ檔 勻膠時(shí)間:2-18秒
Ⅱ檔 調(diào)速范圍:1300-8000轉(zhuǎn)/分 ?、驒n 勻膠時(shí)間:3-60秒
2、適用:Φ5-Φ100mm硅片及其它材料等勻膠。
3、LED數(shù)字顯示,轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度:±1%,膠的均勻性:±3%。
4、電機(jī)功率:40W
5、真空泵抽氣速率≥60升/分
6、體積小,重量輕,操作簡(jiǎn)便
儀器尺寸:210×220×160mm
4.勻膠機(jī)/旋涂?jī)x/旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)/旋涂機(jī)/勻膠臺(tái) 甩膠機(jī) 型號(hào):HAC-218
產(chǎn)品型號(hào):HAC-218勻膠機(jī)旋涂?jī)x
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:主要用于液體,膠體的成膜性能試驗(yàn),表面涂覆工藝。
行業(yè)稱:勻膠機(jī) 勻膠臺(tái) 甩膠機(jī)、旋涂?jī)x 旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī) 旋涂機(jī)
主要特點(diǎn):
*HAC-218勻膠機(jī)旋涂?jī)x 電腦(單片機(jī))控制,可預(yù)置并記憶轉(zhuǎn)速,控制轉(zhuǎn)盤均勻加速;
2段式工作方式
3位數(shù)碼顯示轉(zhuǎn)速300-8000轉(zhuǎn)/分??深A(yù)置,也可隨時(shí)調(diào)整。
3位數(shù)碼顯示時(shí)間(1-999秒)。
旋轉(zhuǎn)時(shí)間預(yù)置,到時(shí),控制轉(zhuǎn)盤均勻減速。
*HAC-218勻膠機(jī)旋涂?jī)x 轉(zhuǎn)速: 100轉(zhuǎn)/步 (調(diào)整 );
時(shí)間:1秒/步(調(diào)整).
*HAC-218勻膠機(jī)旋涂?jī)x 電腦閉環(huán)控制電機(jī),轉(zhuǎn)速精確±0.5轉(zhuǎn)/分.方便實(shí)驗(yàn)效果重現(xiàn).
* 機(jī)械三爪式裝夾。裝夾可靠,可任意裝夾¢50—100mm片。
* 機(jī)械四爪式裝夾。可靠裝夾方形,矩形片,(可選購(gòu)件)
*HAC-218勻膠機(jī)旋涂?jī)x 機(jī)械微型夾板裝夾,
可以裝夾微小的圓形,方形,矩形,六角形,等異形薄片。(可選購(gòu)件)
* HAC-218勻膠機(jī)旋涂?jī)x 排除了因真空吸附不牢,造成飛片的可能。
* 去除了真空泵,節(jié)約了您的金錢,減少了環(huán)境噪聲。
*HAC-218勻膠機(jī)旋涂?jī)x 工作腔:NPP材質(zhì)
NPP的化學(xué)穩(wěn)定性優(yōu)異,對(duì)大多數(shù)酸、堿、鹽、氧化劑都顯 惰 性。
例如在100℃的濃磷酸、鹽酸、40%硫酸及其它們的鹽類溶液中都是穩(wěn)定的。,
*工作腔可拆卸,方便清洗.
*工作腔上蓋透明, 方便觀察成膜過(guò)程。
* 結(jié)構(gòu)無(wú)皮帶,無(wú)碳刷, 沒(méi)有因常時(shí)間遠(yuǎn)行而需要更換的易損件。
其明顯效果是:機(jī)械噪音低,滿足實(shí)驗(yàn)室要求.運(yùn)行平穩(wěn)。
在此我們遵循了機(jī)械中,等壽命理論。
保障了用戶可以放心使用。
* HAC-218勻膠機(jī)旋涂?jī)x 透明工作腔密閉涂層實(shí)驗(yàn),無(wú)液體、膠狀體飛濺,工作環(huán)境衛(wèi)生,安全。
*HAC-218勻膠機(jī)旋涂?jī)x 機(jī)箱,不銹鋼機(jī)殼,外表面潔凈光亮。美觀,方便清洗。
參數(shù):
SpeedⅠ :調(diào)速范圍300-8000轉(zhuǎn)/分,TimerⅠ勻膠時(shí)間 1-999秒;
SpeedⅡ :轉(zhuǎn)速范圍300-8000轉(zhuǎn)/分,TimerⅡ勻膠時(shí)間 1-999秒;
轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度±1%;電源電壓220V/50Hz,
電機(jī)功率80W,
旋轉(zhuǎn)盤直徑:120mm??扇我庋b夾¢50—100mm片
標(biāo)準(zhǔn)包裝:尺寸: 260mm寬 x 350mm深 x 260 mm高 , 重量: 9 kg
產(chǎn)品用途:將液體、膠狀體等材料在襯底上成膜
5.勻膠機(jī)/烘膠臺(tái)/烤膠機(jī) 型號(hào):HAD-J18
產(chǎn)品概述:
烤膠機(jī) hot plate 又名烘膠臺(tái),烤膠機(jī),熱板,熱臺(tái)。HAD-J18烤膠機(jī),主要用于光刻工藝中的旋轉(zhuǎn)涂膠后的軟烘,曝光后烘烤,顯影后的堅(jiān)膜,磨片粘片熔蠟。
HAD-J18型烤膠機(jī),產(chǎn)品體積小,重量輕,升溫快,節(jié)能。
能滿足各種用戶的樣品處理實(shí)驗(yàn)。
與傳統(tǒng)的烘箱相比,利用烤膠機(jī)固化膜層的優(yōu)勢(shì)有:
(1)烘烤時(shí)間減少;
(2)重復(fù)性高;
(3)對(duì)薄膜的固化效果好。
HAD-J18烤膠機(jī)整個(gè)面板溫度均勻,對(duì)基片膜層固化效果非常好。由于固化是從下往上,所以不會(huì)產(chǎn)生皮膚效應(yīng)。這種“由里而外”的固化方式尤其適合較厚的膜層,因?yàn)榭拷哪訒?huì)首先固化好,然后是膜層靠外的部分。該款烤膠機(jī)由于升溫迅速,所以產(chǎn)量較高。烘烤時(shí)間用秒計(jì)算,而不是像傳統(tǒng)烘箱用分鐘或者小時(shí)計(jì)算。
主要特點(diǎn):
外形小巧,330mm*230mm*115mm
加熱盤尺寸 :Φ185mm
加熱板均一性好。
升溫快,能滿足室溫----200℃。
控制溫度精確。能控制小數(shù)點(diǎn)后的細(xì)微溫度差異,如 113.4 ℃ 溫差 ±0.1℃
烘膠采用溫控儀PID調(diào)節(jié),具有烘膠速度快、均勻、控溫精度高等特點(diǎn), 并可長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)穩(wěn)定工作.
高校學(xué)生操作簡(jiǎn)便,能獨(dú)立完成。
參數(shù):
輸出功率: 1500 W
輸入電壓: 220V 50HZ
溫度控制強(qiáng): 能控制小數(shù)點(diǎn)后的細(xì)微溫度差異,如 115.5 ℃ 溫差 ±0.1℃
溫度控制范圍:能滿足室溫----200℃。
外殼材質(zhì):不銹鋼。
防腐蝕性能:良好。
加熱區(qū)域尺寸:Φ185mm
溫馨提示:以上產(chǎn)品資料和圖片全都是按照順序相對(duì)應(yīng)的