熱式氣體質(zhì)量流量控制獨(dú)立模塊
適用于OEM模塊集成的結(jié)構(gòu)極其緊湊的高性能氣體質(zhì)量流量計(jì)和控制器；
從用來(lái)測(cè)量單一氣體的結(jié)構(gòu)極其緊湊的氣體質(zhì)量流量計(jì)和控制器，到用來(lái)測(cè)量和控制多種氣體高度集成的定制閥組，Axetris全新的MFM / MFC 2000系列產(chǎn)品都能滿足這些需求。

熱式氣體質(zhì)量流量控制獨(dú)立模塊
適用于OEM模塊集成的結(jié)構(gòu)極其緊湊的高性能氣體質(zhì)量流量計(jì)和控制器；
    從用來(lái)測(cè)量單一氣體的結(jié)構(gòu)極其緊湊的氣體質(zhì)量流量計(jì)和控制器，到用來(lái)測(cè)量和控制多種氣體高度集成的定制閥組，Axetris全新的MFM / MFC 2000系列產(chǎn)品都能滿足這些需求。

技術(shù)優(yōu)點(diǎn)：

• 基于MEMS技術(shù)

• 極其緊湊的尺寸

• 高精度

• 快速響應(yīng)時(shí)間

• 多種氣體/多量程

• 模塊化

• 的*穩(wěn)定性

主要應(yīng)用：

• 分析儀器

• 氣相色譜儀

• 泄漏檢測(cè)

• 單一或者多種氣體的計(jì)量和控制

• 標(biāo)定和質(zhì)量控制

• 薄膜工藝控制