離子減薄儀*設(shè)計(jì)的實(shí)時(shí)聚焦系統(tǒng)，會(huì)根據(jù)加速電壓的不同，自動(dòng)調(diào)整聚焦磁場(chǎng)強(qiáng)度，聚焦離子束。（與永磁鐵的固定磁場(chǎng)不同）確保在低電壓時(shí)，也具有超高的能量密度

離子減薄儀技術(shù)參數(shù)：

兩個(gè)離子源電壓100eV~6.0KV連續(xù)可調(diào)
 

束流密度高至10 mA/cm²，連續(xù)可調(diào)
 

減薄入射角-10^o ~+ 10^o
 

樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)0^o ~ 360^o
 

渦輪分子泵
 

無油隔膜泵
 

真空測(cè)定用皮拉尼真空計(jì)
 

*設(shè)計(jì)的實(shí)時(shí)聚焦系統(tǒng)，會(huì)根據(jù)加速電壓的不同，自動(dòng)調(diào)整聚焦磁場(chǎng)強(qiáng)度，聚焦離子束。（與永磁鐵的固定磁場(chǎng)不同）確保在低電壓時(shí)，也具有超高的能量密度
 

的樣品夾技術(shù)，可以確保在零角度時(shí)的減薄時(shí)也沒有污染。