nXDS 泵在傳統(tǒng) XDS 泵的基礎(chǔ)上進(jìn)行改進(jìn)，提高了抽取速度，降低了極限壓力、功耗和噪音 - 噪音只有其他泵的二十分之一。氣鎮(zhèn)允許泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 泵還采用了端部密封技術(shù)，顯著延長了端部密封更換的時(shí)間間隔。具有自動(dòng)電壓輸入感知功能的集成變頻器驅(qū)動(dòng)提供整體優(yōu)化的泵送性能。 英國愛德華渦旋真空泵干式渦旋泵nXDS6i

nXDS 干式渦旋泵

Edwards nXDS 具備出色的抽排能力、*的真空性能，性能居同類產(chǎn)品。

nXDS 泵在傳統(tǒng) XDS 泵的基礎(chǔ)上進(jìn)行改進(jìn)，提高了抽取速度，降低了極限壓力、功耗和噪音 - 噪音只有其他泵的二十分之一。氣鎮(zhèn)允許泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 泵還采用了端部密封技術(shù)，顯著延長了端部密封更換的時(shí)間間隔。具有自動(dòng)電壓輸入感知功能的集成變頻器驅(qū)動(dòng)提供整體優(yōu)化的泵送性能。 

nXDS 泵可*進(jìn)行現(xiàn)場維修。其智能控制功能和長達(dá)五年的維修間隔帶來較低的擁有成本，使其成為應(yīng)用于當(dāng)今先進(jìn)技術(shù)的小型干泵。

英國愛德華渦旋真空泵干式渦旋泵nXDS6i

• 工作環(huán)境更好，環(huán)境影響低： 
  安靜運(yùn)轉(zhuǎn)
• 操作簡單： 
  智能且易于使用控制
• 無污染且不需要處理油： 
  采用密封結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了無潤滑劑真空環(huán)境
• 低擁有 成本： 
  長維修間隔和低功耗 
• 更快的制程： 
  出色的蒸汽處理能力 

應(yīng)用

• 一般清潔泵送
• 電子掃描顯微鏡 (SEM)
• 射束線和高能物理
• 前級(jí)渦輪泵
• 超高速離心機(jī)

 英國愛德華渦旋真空泵干式渦旋泵nXDS6i

主要特性和優(yōu)勢

• 真空外殼中 不需要使用潤滑劑，*密封可保證*的清潔和干燥真空， 防止交叉污染
• 無大氣壓到 真空的軸封可使軸承*隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能 以更低溫度運(yùn)行，使用時(shí)間更長
• 簡單的單側(cè) 滾軸布置與創(chuàng)新的電機(jī)和軸承設(shè)計(jì)相結(jié)合，只需低程度的 特殊工具，就能實(shí)現(xiàn)輕松的現(xiàn)場服務(wù)，因此可降低運(yùn)行成本， 盡可能延長正常運(yùn)行時(shí)間
• 改進(jìn)了電機(jī)和 傳動(dòng)效率，可降低功耗和運(yùn)行成本
• 先進(jìn)的接口 提供了各種傳統(tǒng)、模擬和數(shù)字控制方法，可通過 USB、RS232 或 RS485 實(shí)現(xiàn) 遠(yuǎn)程控制/監(jiān)視

泵系列

下一代*無油的干式渦旋泵，可在各種應(yīng)用中取代同等尺寸的干泵和中等尺寸的油封泵。nXDS 提高了傳統(tǒng) XDS 泵的性能，抽取速度更高，極限壓力更低，功耗更低，噪聲更小。氣鎮(zhèn)允許泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 泵還采用了端部密封技術(shù)，顯著延長了端部密封更換的時(shí)間間隔。具有自動(dòng)電壓輸入感知功能的集成變頻器驅(qū)動(dòng)提供整體優(yōu)化的泵送性能，nXDS 泵可*進(jìn)行現(xiàn)場維修。

• nXDS6i
• nXDS10i
• nXDS15i
• nXDS20i
• nXDS-C

特性與優(yōu)勢

• 真空外殼中不需要使用潤滑劑，*密封可保證*的清潔和干燥真空，防止交叉污染
• 無大氣壓到真空的軸封可使軸承*隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以更低溫度運(yùn)行，使用時(shí)間更長
• 簡單的單側(cè)滾軸布置與創(chuàng)新的電機(jī)和軸承設(shè)計(jì)相結(jié)合，只需低程度的特殊工具，就能實(shí)現(xiàn)輕松的現(xiàn)場服務(wù)，因此可降低運(yùn)行成本，盡可能延長正常運(yùn)行時(shí)間
• 改進(jìn)了電機(jī)和傳動(dòng)效率，可降低功耗和運(yùn)行成本
• 先進(jìn)的接口提供了各種傳統(tǒng)、模擬和數(shù)字控制方法，可通過 USB、RS232 或 RS485 實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制/監(jiān)視

技術(shù)數(shù)據(jù)