RCA清洗機 主要由兩只石英加熱缸，兩套溫度控制系統(tǒng)（石英缸數(shù)量可根據(jù)客戶要求而定），兩只快速噴淋排水槽（QDR），兩套噴淋控制系統(tǒng)，一只氫氟槽，一只一階溢流槽，一只三階溢流槽，兩套吸酸排放器等構(gòu)成。

RCA清洗機概述：主要由兩只石英加熱缸，兩套溫度控制系統(tǒng)（石英缸數(shù)量可根據(jù)客戶要求而定），兩只快速噴淋排水槽(QDR)，兩套噴淋控制系統(tǒng)，一只氫氟槽，一只一階溢流槽，一只三階溢流槽，兩套吸酸排放器等構(gòu)成。
技術(shù)特點

大可清洗片子尺寸：Φ300mm。 
槽體數(shù)量可根據(jù)用戶工藝要求配置。 
清洗槽加熱溫度可達200℃。 
快速排放沖洗槽排放，沖洗次數(shù)可設(shè)置。
槽體結(jié)構(gòu)可選單片盒，或雙片盒結(jié)構(gòu)。 
槽內(nèi)傳輸有手動、自動方式可選。 
可選配液體循環(huán)系統(tǒng)。 
 具有故障提示，報警等功能。

RCA清洗機
主要技術(shù)指標

□ 去離子水壓力：0.25~0.3Mpa 
□ 排水口：Φ60mm 
□ 酸液排放口：1/2″PFA管 
□ 氮氣壓力：0.25~0.3MPa 
□ 氮氣接口管徑：3/8″PE管 
□ 壓縮空氣壓力：0.25~0.3 Mpa 
□ 壓縮空氣接口：3/8″PE管 
□ 電源：AC380V±AC38V (三相五線)