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高低溫真空探針臺

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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變溫范圍大,溫度穩(wěn)定性好,可用于不同溫度范圍內(nèi)的材料測試。

詳細(xì)信息 在線詢價


M5VC真空探針臺可實(shí)現(xiàn)高真空環(huán)境下的高溫及低溫電學(xué)性能測量,真空腔一體成型,具有設(shè)計合理,真空度穩(wěn)定,溫控精度及機(jī)械精度高等特點(diǎn);根據(jù)測試溫度范圍不同,可單選高溫或低溫等相應(yīng)組件,溫度可達(dá)到1000℃,低溫部分采用液氮或液氦冷卻組件,溫度可低至77K/10K,;真空系統(tǒng)可選機(jī)械泵或分子泵系統(tǒng),真空度可達(dá)到10-3Torr或10-6Tor。




應(yīng)用

可應(yīng)用于低溫或高溫真空環(huán)境下被測樣品的電學(xué)性能測試分析,如:半導(dǎo)體/微電子,電子,機(jī)電,物理,化學(xué),材料,光電,納米,微機(jī)電/MEMS,生物芯片,航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域,以及IC設(shè)計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。




技術(shù)參數(shù)

顯微鏡配置 顯微鏡/視頻顯微鏡

顯微鏡 放大倍數(shù)50倍

視頻成像配置 CCD成像系統(tǒng),放大倍數(shù)300倍

樣品臺尺寸80mm 漏電電流<10fA

真空室真空度 10-3Torr (10-6Torr或更高可選)

探針座配置 x/y/z行程40mm 精度 1μm

探針配置 尺寸 0.5X30mm 材質(zhì) 金

溫度范圍 77K-570K 液氮制冷 10K-570K 液氦制冷 溫度可到1000K

觀察窗尺寸 100mm

真空系統(tǒng) 機(jī)械泵或分子泵

接口配置 三同軸

測試源表 連接各類測試源表,并可進(jìn)行相應(yīng)的軟件二次開發(fā),加大系統(tǒng)整合性及測試穩(wěn)定性,支持RF測試



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