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紫外臭氧清洗儀（UV/Ozone ProCleaner™ and ProCleaner™ Plus ）
美國Biofore公司的ProCleaner的產(chǎn)品線提供非常有競(jìng)爭(zhēng)力的價(jià)位，并給研究者提供更多的選擇機(jī)會(huì)。該P(yáng)roCleaner ™裝置的核心是低壓石英汞燈，產(chǎn)生254和185nm范圍的紫外線。UV紫外臭氧清洗過程提供一種簡(jiǎn)單、經(jīng)濟(jì)、快速獲得超潔凈的表面，去除大多數(shù)無機(jī)基材（比如石英、硅片、金屬、玻璃、云母、石英、陶瓷、聚合物等）上的有機(jī)污染物。特別是當(dāng)基材和薄膜蒸鍍需要很好的粘接時(shí)，紫外清洗非常理想。要獲得超潔凈的表面，只需要在傳統(tǒng)清洗后，再用紫外臭氧清洗機(jī)處理幾分鐘就可以了。
美國Biofore紫外臭氧消毒機(jī) PC440紫外臭氧消毒儀 UV/Ozone ProCleaner™ Plus紫外臭氧消毒機(jī) PC450紫外臭氧消毒機(jī) UV/Ozone ProCleaner™ 紫外臭氧消毒儀ProCleaner紫外臭氧清洗儀的特點(diǎn):：
1、間歇式燈泡工作方式。燈和定時(shí)器通過關(guān)閉門來觸發(fā)
2、低壓石英水銀蒸汽燈發(fā)射254nm和185nm UV，促進(jìn)快速氧化，去除微量的有機(jī)殘留物。
3、全面UV保護(hù)讓設(shè)備操作更安全
4、操作簡(jiǎn)單：設(shè)定定時(shí)器，打開門，抽出托盤，將元件放在托盤上。將托盤滑入并關(guān)閉門
5、為實(shí)驗(yàn)室節(jié)省開支，使探針和樣品可重新使用
6、堅(jiān)固耐用，結(jié)構(gòu)緊湊（體積?。?/span>
7、低壓石英水銀蒸汽燈發(fā)射254nm和185nm UV，促進(jìn)快速氧化，去除微量的有機(jī)殘留物。
8、室溫操作
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ProCleaner紫外臭氧清洗儀，應(yīng)用領(lǐng)域：
·預(yù)處理表面圖案化工具
·清潔硅和氮化硅探針
·晶圓清洗
·表面氧化及制備
·提高表面親水性
·表面清洗
·制備薄膜沉積
·紫外光固化
·表面圖案化
·清洗光學(xué)鏡頭
·粘接硅橡膠
·表面消毒
·清潔MEMS器件
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技術(shù)參數(shù)：
| 型號(hào) | PC440 | PC450 |
| 光照尺寸 | 4" x 4" （101.6×101.6cm） |
| 有效面積: | 16 sq. in. |
| 工作區(qū)域: | 5" x 5"x1" |
| 滑行托盤: | 1 |
| 定時(shí)器: | 機(jī)械定時(shí) | 數(shù)字設(shè)定 |
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紫外臭氧清洗工作原理：
ProCleaner紫外臭氧清洗儀的核心是低壓石英汞燈，產(chǎn)生3254和185nm范圍的紫外線。臭氧和等離子氧氣產(chǎn)生，有機(jī)污染物分子在吸收254nm波長(zhǎng)紫外線后被激發(fā)或分解。激發(fā)的有機(jī)污染物可以和等離子氧原子反應(yīng)形成氣體，比如CO2,H2O等。整個(gè)過程在室溫中進(jìn)行，并且只需要1到幾分鐘完成。
*注1：白色氧化鋁暴露在UV能量下會(huì)變黃。這種現(xiàn)象是由于基材吸收UV能量， 而不是一種涂層。這種氧化鋁在加熱情況下會(huì)轉(zhuǎn)化為他原來的顏色。
**注2：清洗元件溫度的上升取決清洗過程的時(shí)間長(zhǎng)度。在大多數(shù)應(yīng)用，元件溫度可以視為室溫。
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