紫外臭氧清洗機(jī)（UVO），是一種簡單，經(jīng)濟(jì)，快速高效的材料表面清洗設(shè)備，能快速去除大多數(shù)無機(jī)基材（比如石英，硅片，金，鎳，鋁，砷化鎵，氧化鋁等）上的有機(jī)污染物。CIF紫外臭氧清洗機(jī)采用長壽命UV石英低壓汞蒸汽格柵燈，樣品臺高度可調(diào)并可選加熱控溫，以便達(dá)到清洗效果。

UVO5 CIF紫外臭氧清洗機(jī)

產(chǎn)品特點

u 可編程數(shù)字控制器，設(shè)置操作簡單方便，四鍵操作控制。

u 數(shù)字顯示清洗時間，1-999分鐘之間可自行設(shè)置清洗時間。

u 任何時間可以手動中斷處理過程。

u 自動記錄之前清洗參數(shù)設(shè)置。

u 樣品臺可控溫（可選），控溫范圍RT-260℃，控溫精度0.1℃。

u 上置式樣品臺設(shè)計，360度自由放置樣品，操作方便。

u 樣品臺高度可調(diào)，通過調(diào)節(jié)燈與樣品之間的間距，可以合理定位樣品高度和位置，位置可鎖定。

u UV石英低壓汞蒸汽格柵燈，燈管壽命大約為8000小時。

u 高強(qiáng)度UV燈源，波長185nm和254nm。

u UV反射罩（長X寬）比UV格柵燈大2.5cm，比如規(guī)格為13x13cm格柵燈反射罩尺寸大于15×15cm。

u 雙重安全保護(hù)，當(dāng)清洗腔打開時，系統(tǒng)安全鎖會關(guān)掉UV燈，并有燈光通斷提示。

u 帶進(jìn)&出氣口雙氣路設(shè)計，可接入氧氣，增加臭氧產(chǎn)量。

u 可選臭氧中和器，用于臭氧清除。

u 可根據(jù)客戶要求定制鋁或石英材料真空反應(yīng)腔。

UVO5 CIF紫外臭氧清洗機(jī)技術(shù)參數(shù)

注：UVO型基礎(chǔ)型樣品臺不帶加熱功能，樣品臺高度不可調(diào)；UVOP可選配樣品臺加熱功能，樣品臺高度可調(diào)；UVOT標(biāo)配樣品臺加熱功能，樣品臺高度可調(diào)。