產(chǎn)品型號

帶滑動法蘭三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-5-III-F3LV

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源

4、工作臺：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上

5、通風裝置：需要

主要特點

1、雙層殼體，配有冷系統(tǒng)，爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料。

2、內(nèi)爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層，可以提高反射率和保護爐膛潔凈度。

3、一端法蘭配有滑軌，便于樣品裝卸；另一端法蘭裝有數(shù)字真空計。

4、采用三個獨立PID控制器 ，可以設(shè)置30段升降溫程序，設(shè)有過熱和斷偶保護功能。

5、已通過CE認證。

技術(shù)參數(shù)

1、電源：單相AC 208-240V   50/60Hz  7KW （40A保險絲）

2、石英管：外徑Ø125mm，內(nèi)徑120mm，長1400mm，帶有一對真空密封法蘭

3、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲

4、加熱區(qū)域：溫區(qū)I長229mm，溫區(qū)II長457mm，溫區(qū)III長229mm，總長915mm

5、恒溫區(qū)域：三個溫區(qū)為同一溫度時為625mm，溫區(qū)II為110mm

6、工作溫度：1200℃，連續(xù)工作1100℃

7、大升降溫速率：20℃/min

8、控溫精度：±1℃

9、熱電偶：K型

10、浮子流量計：3個，量程0-100ml/min、0-160ml/min、0-250ml/min

11、數(shù)字真空計：10^-4torr

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：管式爐1080mm×430mm×600mm；重量：70kg