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氦鎘及氮分子激光器

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氦鎘激光器

PLASMA公司是世界上的氣體激光器生產(chǎn)商，其產(chǎn)品主要特點是高質(zhì)量、長壽命、中等價格。

1. 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計，HCL系列

波長442nm

型號

功率(mW)

橫模

偏振

光斑尺寸(mm)

發(fā)散角 (mrad)

HCL-50V

60

TEMOO

100:1

1.6

0.9

HCL-60V(I)

80

TEMOO

100:1

1.6

0.9

HCL-70VМ(I)

100

多模

1:1

2.0

2.5

HCL-100V

100

TEMOO

100:1

2.1

0.9

HCL-100V(I)

150

TEMOO

100:1

2.1

0.9

波長325nm

型號

功率(mW)

橫模

偏振

光斑尺寸(mm)

發(fā)散角 (mrad)

HCL-30UM(I)P

30

多模

100:1

1.6

2.5

HCL-10U

10

TEMOO

100:1

1.5

0.9

HCL-30UM(I)

35

多模

1:1

1.6

2.5

HCL-100U(I)

30

TEMOO

100:1

1.7

0.9

波長442nm和325nm

型號

功率(mW)

橫模

偏振

光斑尺寸(mm)

發(fā)散角 (mrad)

HCL-40

5/35

多模/TEMOO

100:1/100:1

1.4/1.4

0.9/0.9

HCL-40M

10/40

多模/TEMOO

100:1/100:1

1.5/1.5

2.5/0.9

HCL-40(I)

15/50

多模/TEMOO

100:1/100:1

1.5/1.5

2.0/0.9

HCL-100(I)

20/100

多模/TEMOO

100:1/100:1

2.0/2.0

2.0/0.9

注：帶(I)的型號激光相干長度為30cm，不帶(I)的型號相干長度為10cm

2. 緊湊型設(shè)計，HCCL系列

波長442nm

型號

功率(mW)

橫模

偏振

光斑尺寸(mm)

發(fā)散角 (mrad)

HCCL-10V

10

TEMOO

100:1

1.5

1.3

HCCL-20VМ

20

多模

1:1

1.8

2.5

HCCL-25V

25

TEMOO

100:1

1.5

1.3

波長325nm

型號

功率(mW)

橫模

偏振

光斑尺寸(mm)

發(fā)散角 (mrad)

HCCL-4UM

6

多模

1:1

1.8

2.5

HCCL-8UM(I)

12

多模

1:1

1.8

2.5

HCCL-15UM

15

多模

1:1

1.8

2.5

HCCL-30UM(I)

25

多模

1:1

1.8

2.5

注：帶(I)的型號激光相干長度30cm，不帶(I)的型號相干長度10cm。

氮分子激光器

氮分子激光器的發(fā)射帶在UV波段，主要是337.1nm 、357.7 nm、315.9 nm。
PLASMA 擁有橫向和縱向激勵的脈沖氮分子激光器，由于其*的性能（波長337nm、脈沖寬度小于10ns、平均功率0.01-1W），被廣泛應(yīng)用于微電子領(lǐng)域如光掩模、復(fù)雜的集成電路、薄膜電阻的生產(chǎn)、處理。由于其短波長更易聚焦得到小光斑，因此被用于加工亞微米量級的元件。此外，還被用于多種感光材料的高效曝光光源。

參數(shù)

NPL-3

LGI-505

LGI-511

波長, μm

0.337

0.337

0.337

脈沖能量, μJ

30

120

240

平均功率, mW

3

120

240

光束直徑, mm

2

5

5

脈沖重復(fù)頻率:

1-100

5-1000

1 -1000

脈沖寬度, ns

5±1

8 ±2

8 ±2

尺寸, mm

350x325x150

484x510x215

1140x525x345

重量, kg

10

35

105

電壓, V

220

220

220

功率消耗, w

50

1200

1500

制冷方式

風(fēng)冷

水冷

水冷

工作溫度, OC

0...+40

0...+40

+10...+40

質(zhì)保工作時間, h

500

1000

500


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