多用途樣品清潔及儲(chǔ)存腔室——TEM&SEM樣品清潔及貯存方案
通過(guò)選配外部附件如：EM-KLEEN遠(yuǎn)程控制等離子源和/或TEM樣品桿適配器，多用途腔室可配置成不同的應(yīng)用。EM-KLEEN遠(yuǎn)程等離子體源可以采用空氣、氧氣或氫氣產(chǎn)生氧和氫自由基，用于樣品清潔和表面活化。如果腔室配備了TEM樣品桿適配器，則可接受和清潔來(lái)自Thermo Fisher、JEOL和Hitachi的共六個(gè)TEM樣品桿，然后它還可以用作樣品桿真空儲(chǔ)存站。當(dāng)然，EM-KLEEN等離子源也可被取下并安裝到SEM、FIB或XPS等真空腔室上。
配置一
多用途腔室配置EM-KLEEN等離子源。
應(yīng)用：EM-KLEEN遠(yuǎn)程等離子源采用室內(nèi)空氣、氧氣或氫氣作為處理氣體產(chǎn)生氧或氫自由基。待清潔樣品可從頂部玻璃門(mén)裝載。EM-KLEEN等離子源也可被取出，安裝到SEM、FIB和XPS系統(tǒng)真空腔室上進(jìn)行腔室清潔。
配置二
多用途腔室配置等離子源及TEM樣品桿適配器。
應(yīng)用：EM- KLEEN遠(yuǎn)程等離子源用于SEM&TEM樣品清潔。樣品可通過(guò)頂部玻璃門(mén)裝載或通過(guò)適配器插入TEM樣品桿。EM- KLEEN等離子源也可被取出并安裝在SEM、FIB和XPS系統(tǒng)上，用于真空腔室清潔。腔室可用無(wú)油渦卷泵或渦輪分子泵工作站抽真空。
配置三
在腔室上安裝TEM樣品桿適配器，可作為樣品&樣品桿真空儲(chǔ)存腔室。腔室可由無(wú)油渦卷泵或渦輪分子泵工作站抽真空?？偣部煞胖昧鶄€(gè)TEM樣品桿。它可放置JEOL、Hitachi和Thermo Fisher的TEM樣品桿。
TEM樣品桿真空儲(chǔ)存站
TEM樣品桿真空泵站可在真空條件下存放多6個(gè)TEM樣品桿，幫助樣品和樣品桿放氣，去除水氣凝結(jié)，保持樣品和樣品桿的清潔。也可用于樣品桿的檢漏。
儀器特點(diǎn)：
• 每臺(tái)設(shè)備共6個(gè)存儲(chǔ)單元。
• 每個(gè)存儲(chǔ)單元都可以通過(guò)電磁閥進(jìn)行獨(dú)立的抽放。當(dāng)取出其中一個(gè)樣品桿時(shí)，其余的單元仍可保持在真空狀態(tài)下。
• 多個(gè)存儲(chǔ)系統(tǒng)可以連鎖連接，共享一個(gè)真空泵。它還可以與Tergeo-EM系統(tǒng)共用一個(gè)真空泵。
• 可選無(wú)油干式渦旋泵或渦輪泵站。
• 真空泵與儲(chǔ)存站分開(kāi)，必要時(shí)易于維護(hù)和維修。
• 真空管路全金屬管設(shè)計(jì)，可大限度地減少排氣，從而減少污染。
• 略高于室溫的穩(wěn)定的操作溫度設(shè)計(jì)，有利于樣品桿更快放氣。
美國(guó)PIE公司是現(xiàn)代等離子清洗儀技術(shù)者，產(chǎn)品包括：Tergeo系列臺(tái)式等離子清潔儀（Tergeo、Tergeo-Plus和Tergeo-EM），遠(yuǎn)程等離子清潔儀（EM-KLEEN、SEMI-KLEEN quartz和SEMI-KLEEN sapphire），如需要，請(qǐng)。
