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I100 納米壓痕儀

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主要用于納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測(cè)試，測(cè)試結(jié)果通過(guò)壓入載荷大小與壓入深度的曲線計(jì)算得出，無(wú)需通過(guò)顯微鏡觀察壓痕面積

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美國(guó)NANOVEA納米壓痕測(cè)試儀
美國(guó)NANOVEA公司是一家*的壓痕測(cè)試儀的革新者，生產(chǎn)的壓痕測(cè)試儀是目前上用在科學(xué)研究和工業(yè)領(lǐng)域的設(shè)備，主要應(yīng)用在：半導(dǎo)體技術(shù)（鈍化層、鍍金屬、Bond Pads）；存儲(chǔ)材料（磁盤的保護(hù)層、磁盤基底上的磁性涂層、CD的保護(hù)層）；光學(xué)組件（*頭、光纖、光學(xué)刮擦保護(hù)層）；金屬蒸鍍層；防磨損涂層（TiN, TiC, DLC, 切割工具）；藥理學(xué)（藥片、植入材料、生物組織）；工程學(xué)（油漆涂料、橡膠、觸摸屏、MEMS）等行業(yè)；
特點(diǎn)：主要用于納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測(cè)試，測(cè)試結(jié)果通過(guò)壓入載荷大小與壓入深度的曲線計(jì)算得出，無(wú)需通過(guò)顯微鏡觀察壓痕面積，
·*符合ISO14577、ASTME2546
·光學(xué)顯微鏡自動(dòng)觀察
·*的熱漂移控制技術(shù)
·可測(cè)量硬度、楊氏模量、壓入深度-載荷的曲線圖、彈塑性、蠕變性能等力學(xué)參數(shù)
·適時(shí)測(cè)量載荷大小
·采用獨(dú)立的載荷加載系統(tǒng)與高分辨率的電容深度傳感器
·快速的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的載荷反饋系統(tǒng)
·雙標(biāo)準(zhǔn)校正：熔融石英與藍(lán)寶石
技術(shù)參數(shù)

載荷范圍
400mN（800mN,1600mN可選）
0.03μN
深度范圍
250μm
深度分辨率
0.003nm
熱飄逸
<0.05nm/s
zui大摩擦力
400mN
Sinus 模式分析（DMA）
20HZ


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