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PS4L M-x SemiProbe手動探針臺-直流探針臺-射頻探針臺 PS4L

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手動探針臺是模塊化結構設計明顯操作靈活的手動探針臺。它采用了 SemiProbe 技術 Probe System for Life (PS4L)可適應性結構設計,提供了*的靈活性并大大地節(jié)省了設備資金費用。PS4L 系列探針臺滿足了客戶對規(guī)格參數精準的要求。與傳統(tǒng)的探針臺相比,SemiProbe 的 PS4L 系列探針臺中所有的基礎模塊-基座,平臺,卡盤,顯微鏡裝置,顯微鏡移動,光學組件,操縱器等都是可以更換的,這使得 PS4L系列探針臺以極低的價格便可滿足多種應用需求。

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SemiProbe手動探針臺-直流探針臺-射頻探針臺 PS4L 產品描述:

SemiProbe手動探針臺-直流探針臺-射頻探針臺 PS4L 是模塊化結構設計明顯操作靈活的手動探針臺。它采用了 SemiProbe 技術 Probe System for Life (PS4L)可適應性結構設計,提供了*的靈活性并大大地節(jié)省了設備資金費用。PS4L 系列探針臺滿足了客戶對規(guī)格參數精準的要求。與傳統(tǒng)的探針臺相比,SemiProbe 的 PS4L 系列探針臺中所有的基礎模塊-基座,平臺,卡盤,顯微鏡裝置,顯微鏡移動,光學組件,操縱器等都是可以更換的,這使得 PS4L系列探針臺以極低的價格便可滿足多種應用需求,為客戶提供了完美的解決方案。

更重要的是,PS4L的模塊化結構設計,可以使探針臺在一個基本平臺的基礎上不斷的進行升級??筛鶕y試環(huán)境和測試條件的改變而進行現場升級,由手動探針臺升級為半自動探針臺,半自動探針臺升級為全自動探針臺,或者6”升級為8”,8”升級為12”,增加密閉測試倉,增加高低溫等,以滿足用戶新的要求。這樣的設計理念使得即使當晶圓尺寸,自動化的程度或者測試要求發(fā)生改變時,PS4L也無需重新更換新的平臺,便可用短的時效和的費用完成有效的測試。

SemiProbe手動探針臺-直流探針臺-射頻探針臺 PS4L

產品特點:

  • 可靈活改變測試尺寸
  • 模塊化設計,可更換關鍵部件
  • 系統(tǒng)可在客戶現場升級
  • 可升級為半自動探針臺,或者6”升級為8”,8”升級為12”
  • 結構簡潔,方便操作

應用范圍:

  • 光伏工業(yè)
  • 材料科學
  • 光電行業(yè)
  • 失效分析
  • 通信器件測試
  • 微機電技術
  • 半導體

SemiProbe手動探針臺-直流探針臺-射頻探針臺技術參數(型號:PS4L M-12):

  • 產品尺寸:1200mm * 650mm * 900mm
  • 重量:110Kg
  • 輸入電壓:110/220V 50/60Hz,20A
  • 真空:23 Hg or -0.8 bar
  • 卡盤X-Y軸軌道:行程:>300mm粗調,25mm微調(可定制)
  • 平面性:±7.5μm
  • 分辨率:5μm
  • 支架類型:快速對準(標配)、同軸/可編程(選配)
  • 卡盤Z軸軌道:行程:>20mm
  • θ移動:可轉角度:360°粗調,>10°微調
  • 卡盤類型:真空或機械夾緊,圓形或方形,三軸,高頻,高壓/高電流,高低溫等
  • 平面性:5μm
  • 壓盤:鋁和不銹鋼頂部,可拆卸前楔
  • 360度機械手放置
  • 機械手固定:磁性(標準),真空(可選配真空歧管工具包)
  • 壓盤位移:可選擇固定和線性調節(jié)(線性調節(jié)范圍:40mm粗調,200um微調)
  • 顯微鏡:立體變焦、變焦或復式顯微鏡
  • 顯微鏡安裝/移動:可選吊桿、立柱或橋架安裝;可手動或通過程控移動

SemiProbe手動探針臺-直流探針臺-射頻探針臺可選配件:

包括探針卡,操縱器,操縱臂和基座, 探針,激光,光學部件,CCTV 系統(tǒng),隔振臺,暗箱。

標簽:手動探針臺探針臺隔振隔振臺


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