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BPG400 大氣壓至超高真空真空計(jì)

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好處

  • 從 5 x 10-10 mbar 至大氣氣壓(3.8 x 10-10 Torr 至大氣氣壓)的極其寬泛的測(cè)量范圍
  • 在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工藝壓力范圍內(nèi)為表現(xiàn)出的重復(fù)性
  • 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù) Bayard-Alpert 系統(tǒng)在高壓操作下絲極過(guò)早燒毀和過(guò)度污染
  • 長(zhǎng)使用壽命氧化釔銥絲
  • 備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場(chǎng)總線接口
  • 高真空皮拉尼自動(dòng)調(diào)節(jié),減少操作員的干預(yù)
  • 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
  • 低真空至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制

典型應(yīng)用

  • 對(duì)半導(dǎo)體過(guò)程和傳輸腔室的壓力測(cè)量
  • 工業(yè)鍍膜
  • 低真空至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制

規(guī)格

類型 BPG400
測(cè)量范圍(空氣、O2、CO、N2 5×10-10 … 1000
精度  
10-8 … 10-2 毫巴 % of reading ±15
可重復(fù)性  
10-8 … 10-2 毫巴 % of reading 5
除氣 (1)  
p < 7.2="" ×="">-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
壓力,大 bar (absolute) 2
溫度  
運(yùn)行(環(huán)境) °C 0 … +50
貯存 °C -20 … +70
在法蘭處烘烤,有延伸件 °C 150
在法蘭處烘烤,無(wú)延伸件 °C 80
移除烘烤電子設(shè)備 °C 150
電源電壓 +20 … +28
輸出信號(hào)模擬  
輸出信號(hào) V 0 … +10
測(cè)量范圍 V +0.774 … +10
電壓與壓強(qiáng) volts per decade 0.75
錯(cuò)誤信號(hào) V 0.3 / 0.5
小負(fù)載電阻 k? 10
接口(數(shù)字)(2) RS232C
電氣連接 D-Sub, 15-pin, male
電纜長(zhǎng)度,大 (3) m (ft.) 100 (330)
暴露于真空的材料 Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
內(nèi)部容積 KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CF g 285 / 550
保護(hù)等級(jí) IP30
Profibus DP  
波特率 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
數(shù)字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
設(shè)定點(diǎn)繼電器: 設(shè)定點(diǎn)數(shù)量 2
設(shè)定點(diǎn)繼電器: 范圍 mbar 1×10-9 … 100
設(shè)定點(diǎn)繼電器: 繼電器觸點(diǎn) n.o., potential free
設(shè)定點(diǎn)繼電器: 滯后 % of reading 10
設(shè)定點(diǎn)繼電器: 觸點(diǎn)額定值 60
Profibus DP 連接器 D-Sub, 9-pin, female
BPG(模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點(diǎn))連接器 D-Sub, 15-pin, male
DeviceNet™  
協(xié)議 DeviceNet™, group 2 slave only
數(shù)據(jù)率開(kāi)關(guān) kBaud 125, 250, 500 or network programmable
電纜長(zhǎng)度 125 kbps m (ft.) 500 (1650)
電纜長(zhǎng)度 250 kbps m (ft.) 250 (825)
電纜長(zhǎng)度 500 kbps m (ft.) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
數(shù)字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
技術(shù)規(guī)格 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
設(shè)備類型 ''CG'' for combination gauge
I / O 從屬傳訊 polling only
設(shè)定點(diǎn)繼電器: 設(shè)定點(diǎn)數(shù)量 2
設(shè)定點(diǎn)繼電器: 范圍 mbar 1×10-9 … 100
設(shè)定點(diǎn)繼電器: 繼電器觸點(diǎn) n.o., potential free
設(shè)定點(diǎn)繼電器: 滯后 % of reading 10
設(shè)定點(diǎn)繼電器: 觸點(diǎn)額定值 60
DeviceNet™ 電源電壓 +11 … +25
真空計(jì)電源電壓 +20 … +28
DeviceNet™ 連接器 Microstyle, 5-pin
BPG(模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點(diǎn))連接器 D-Sub, 15-pin, male

1)除氣期間準(zhǔn)確性降低

2)不可同時(shí)使用 RS232C 或 VGC40x 控制器系列和現(xiàn)場(chǎng)總線

3)RS232C 操作 <>

零件號(hào)

BPG400
零件號(hào) 明細(xì)
353-500 BPG400 規(guī)管
353-501 BPG400 規(guī)管
353-502 BPG400 規(guī)管
353-503 BPG400 BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-505 復(fù)合真空規(guī)
353-506 BPG400-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-507 BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-508 BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
354-490 BPG400 備用傳感器
354-491 BPG400 備用傳感器
354-498 Spare electronic BPG400 without Display
354-499 Spare electronic BPG400 with Display

附件

BPG400
零件號(hào) 明細(xì)
353-511 BPG400 24V電源
353-510 100 mm sensor extension tube
353-512 Baffle for BPG400
211-113 中心圈 with baffle DN 25 KF

備件

BPG400
零件號(hào) 明細(xì)
354-490 BPG400 備用傳感器
354-491 BPG400 備用傳感器
354-498 Spare electronic BPG400 without Display
354-499 Spare electronic BPG400 with Display

數(shù)據(jù)表

手冊(cè)

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