EQS 是差式泵式二次離子質(zhì)譜（SIMS-Secondary Ion Mass Spectrometer ‘Bolt-On’ probe），可分析來自固體樣品的二次陰、陽離子和中性粒子。采用技術的SIMS 探針，便于連結(jié)到現(xiàn)有的UHV表面科學研究反應室。

應用：

· 靜態(tài) /動態(tài)SIMS
· 一般目的的表面分析
· 整體的前端離子源，便于RGA和 SNMS
· 兼容的離子槍/ FAB 槍
· 成分/污染物分析
· 深度分析
· 泄漏檢測
· 與Hiden SIMS 工作站兼容

特點：
· 高靈敏度脈沖離子計數(shù)檢測器，7個數(shù)量級的動態(tài)范圍
· SIMS 成像，分辨率在微米以下
· 光柵控制，增強深度分析能力
· 45°靜電扇形分析器, 掃描能量增量 0.05 eV/ 0.25eV FWHM.
· 所有能量范圍內(nèi)，離子行程的zui小擾動，及恒定離子傳輸
· 差式泵3級過濾四極桿，質(zhì)量數(shù)范圍至2500amu
· 靈敏度高 / 穩(wěn)定的脈沖離子計數(shù)檢測器
· Penning規(guī)和互鎖裝置可提供過壓保護
· 通過RS232、RS485或Ethernet LAN，軟件 MASsoft控制