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高解析度FEB測量裝置CS4800（CD-SEM）

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適用于對(duì)應(yīng)4、6、8英寸晶圓的測量SEM搭載日技術(shù)的CD-SEM CS4800兼容4、6、8英寸晶圓的CD測量，提供高解析度的SEM成像，更高的測量精度和快速自動(dòng)化操作，將有助于提高客戶現(xiàn)有生產(chǎn)線的生產(chǎn)力。此外用戶可以通過簡單的操作處理自動(dòng)搬送兩種不同尺寸的晶圓。 日立計(jì)劃支持對(duì)應(yīng)碳化硅（SiC）和氮化鎵（GaN）等各種材料的晶圓，以滿足客戶對(duì)半導(dǎo)體電子器件生產(chǎn)的多樣化需求。

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高解析度FEB測量裝置CS4800（CD-SEM）

適用于對(duì)應(yīng)4、6、8英寸晶圓的測量SEM

搭載日技術(shù)的CD-SEM CS4800兼容4、6、8英寸晶圓的CD測量，提供高解析度的SEM成像，更高的測量精度和快速自動(dòng)化操作，將有助于提高客戶現(xiàn)有生產(chǎn)線的生產(chǎn)力。此外用戶可以通過簡單的操作處理自動(dòng)搬送兩種不同尺寸的晶圓。 日立計(jì)劃支持對(duì)應(yīng)碳化硅（SiC）和氮化鎵（GaN）等各種材料的晶圓，以滿足客戶對(duì)半導(dǎo)體電子器件生產(chǎn)的多樣化需求。

  • 特長

  • 規(guī)格

特長

  • 考慮了更換現(xiàn)有設(shè)備或共同使用情況下的設(shè)備占地面積和GUI*1
  • 通過設(shè)備的研發(fā)經(jīng)驗(yàn)，搭載了高精度測量技術(shù)和的計(jì)量應(yīng)用。
  • 通過光學(xué)軸自動(dòng)化調(diào)整，減少了由于操作員熟練度而造成的測量偏差。
  • 更高的圖像處理技術(shù)，實(shí)現(xiàn)Recipe自動(dòng)測量并提高產(chǎn)能。
  • 新的晶圓搬送系統(tǒng)兼容4,6,8英寸多尺寸晶圓。
*1
GUI (Graphic User Interface):使用計(jì)算機(jī)的圖形顯示器和鼠標(biāo)等指示設(shè)備的軟件操作系統(tǒng)。

規(guī)格

規(guī)格
測量精度1nm（3σ）（采用日立標(biāo)準(zhǔn)晶圓）
晶圓尺寸直徑 100mm, 150mm, 200mm
自動(dòng)裝片裝置2個(gè)
設(shè)備尺寸（主體）1180（寬）× 2500（長）× 1990（高）毫米


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