緊湊而高性能的晶圓表面檢測(cè)設(shè)備。表面粒子掃描儀。
新開(kāi)發(fā)的高性能，節(jié)省空間的類型。
安裝面積為YPI-200的50％。
它是一種緊湊的表面檢查
設(shè)備，可以根據(jù)使用模式進(jìn)行移動(dòng)，精度高達(dá)0.15μm，同時(shí)又節(jié)省了空間。
作為可選功能，可以為透明基板安裝前/后分離功能（通過(guò)消除后表面的影響來(lái)執(zhí)行前表面的測(cè)量）。
測(cè)量結(jié)果可以通過(guò)檢測(cè)圖大小，歷史和異物圖像顯示并記錄在附帶的P / C上，并帶有顆粒數(shù)量。

設(shè)備規(guī)格

工作尺寸

大200 x 200 mm，φ200mm（可提供φ300mm測(cè)量* 1）

小檢測(cè)到的顆粒尺寸（Si PSL裸顆粒）

Si晶圓0.152μm
透明玻璃基板0.3μm（需要可選設(shè)備）

激光/檢測(cè)單元使用

405 nm（藍(lán)色激光）和光電倍增管（PMT）

掃描方式

XY，螺旋掃描

工作提供方法

手動(dòng)的

設(shè)備尺寸（寬x深x高）

W548 x D572 x H962（mm）通過(guò)P / C

設(shè)備重量

90kg（不含P / C）

電源

AC100V 15A