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Trymax - 干法刻蝕等離子去膠機(jī)

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荷蘭 Trymax

干法刻蝕等離子去膠機(jī)

模塊化設(shè)計，腔體規(guī)格統(tǒng)一，可四選一等離子源組合 (包括：RIE, MW, MW+RF, DCP)。采用同一操作軟件，達(dá)至速度快、產(chǎn)能高的效果。

 

NEO200A 系列

● Handling
   - Dual Cassette
   - 3 axis robot

● Chammber Configurations
   - RF Only (13.56MHz)
   - Microwave Only (2.45GHz)
   - Dual Source RF / MW
   - DCP (13.56MHz)

● 100 to 200mm compatible

 

 

NEO300A 系列
● Handling
   - Single Loadport (300mm)
   - 3 axis robot

● Chammber Configurations
   - RF Only (13.56MHz)
   - Microwave Only (2.45GHz)
   - Dual Source RF / MW
   - DCP (13.56MHz)

● 200 to 300mm compatible

 

 

NEO3400 系列
● Handling
   - up to 4 Loadports (300mm)
   - 4 axis robot with X-traverser

● Chammber Configurations
   - RF Only (13.56MHz)
   - Microwave Only (2.45GHz)
   - Dual Source RF / MW
   - DCP (13.56MHz)

● 200 to 300mm compatible


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