日本electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-701MC
使用磁控管陰極以減少離子損傷
排氣→涂層→全自動(dòng)，直到進(jìn)入大氣
磁控管陰極有助于生產(chǎn)高質(zhì)量的濺射薄膜
電極的濺射薄膜可以很容易地涂覆

日本electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-701MC

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日本electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-701MC

特征 使用磁控管陰極以減少離子損傷 排氣→涂層→全自動(dòng)，直到進(jìn)入大氣 磁控管陰極有助于生產(chǎn)高質(zhì)量的濺射薄膜 電極的濺射薄膜可以很容易地涂覆   應(yīng)用/結(jié)果示例 各種設(shè)備的電極膜附件 用于制造反射薄膜等的應(yīng)用   基本規(guī)格 陰極 φ2英寸直流磁控管/ 2極面對(duì)電極 目標(biāo) 包含金靶 膜厚設(shè)定方法 預(yù)設(shè)方法/帶膜厚監(jiān)視器的數(shù)字顯示 氣體導(dǎo)入機(jī)制 針閥 真空泵 直連式旋轉(zhuǎn)泵：20l / min（帶自動(dòng)泄漏） 排氣操作 自動(dòng)的 箱體尺寸 內(nèi)徑φ120mm x D120 mm（SUS制） 樣品交換方法 前門(mén)開(kāi)合式 尺寸（寬/深/高） 主體：225/420 / 320mm  RP：300/160 / 200mm 重量 身體：15公斤 RP：9公斤