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EXCITE 系列激光器

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EXCITE 系列激光器

EXCITE 系列是單頻全固態(tài)激光器系統(tǒng),用于深紫外領(lǐng)域,如晶片檢測(cè),光譜儀校準(zhǔn)和干涉測(cè)量應(yīng)用。光譜帶寬小于50MHz,接近其理論帶寬的傅里葉極限。

激光器在其衍射極限下提供了短脈寬,M2<1.6,重復(fù)頻率1-30kHz。在波長(zhǎng)為266nm下平均輸出功率超過(guò)150mW,在波長(zhǎng)為355nm下平均輸出功率超過(guò)400mW。 在堅(jiān)固的工業(yè)設(shè)計(jì)中具有穩(wěn)定的脈沖軌跡和超過(guò)3.0m的相干長(zhǎng)度




特點(diǎn):

● TEM00光束

● 長(zhǎng)相干長(zhǎng)度

● Q開(kāi)關(guān)全固態(tài)激光器


應(yīng)用:

○ 拉曼光譜

○ 干涉測(cè)量

○ 光刻

○ FBG制造

○ 光譜儀校準(zhǔn)

○ 度量衡學(xué)

○ 全息照相


可選項(xiàng):

○ 圖形用戶界面

○ Labview庫(kù)文件

○ 雙波長(zhǎng)輸出


產(chǎn)品參數(shù):

型號(hào)

EXCITE 266

EXCITE 355

EXCITE 532

EXCITE 1064

波長(zhǎng)

266 nm

355 nm

532 nm

1064 nm

平均功率

150 mW

400 mW

2.5 W

6 W

脈沖寬度

10-15 ns

14-18 ns

15-20 ns

20-30 ns

單脈沖能量

7.5 uJ

20 uJ

125 uJ

300 uJ

重復(fù)頻率

1-30 kHz

1-30 kHz

1-30 kHz

1-30kHz

M2

<1.7

<1.3

<1.2

<1.2

光譜帶寬

<60 MHz

<50 MHz

<50 MHz

<30 MHz

相干長(zhǎng)度1)

>2.5 m

>3 m

>3 m

>5 m

150%的對(duì)比

數(shù)據(jù)均在重復(fù)頻率20kHz下測(cè)得


典型參數(shù)&光斑輪廓:



激光頭尺寸:



系統(tǒng)尺寸(L×W×H),重量

激光頭

541×220×76 mm3

24.6 kg

電源箱

447×440×134 mm3

18.5 kg

水冷箱

447×440×134 mm3

12 kg

電學(xué)參數(shù)

工作電壓

85-264VAC

頻率

47-63Hz

功耗

350W typ






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